Boron Nitride: Cần thiết cho lò chân không bán dẫn

  Trong ngành công nghiệp bán dẫn, boron nitride (BN) đóng một vai trò quan trọng trong các ứng dụng lò chân không do các đặc tính đặc biệt của nó. Lò chân không rất cần thiết cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau, bao gồm ủ, khuếch tán và lắng đọng hơi hóa học (CVD).
Các thành phần Boron nitride được sử dụng rộng rãi trong các lò chân không này vì một số lý do:

• Độ ổn định nhiệt độ cao: Boron nitride thể hiện tính ổn định nhiệt tuyệt vời và có thể chịu được nhiệt độ lên tới 2,000°C trong môi trường trơ ​​hoặc môi trường chân không, khiến nó phù hợp với các quy trình bán dẫn nhiệt độ cao.

• Tính trơ về mặt hóa học: Boron nitride có tính trơ về mặt hóa học và có khả năng chống lại hầu hết các axit, bazơ và dung môi, đảm bảo khả năng tương thích với các vật liệu bán dẫn và khí xử lý khác nhau.

• Cách điện: Với đặc tính cách điện tuyệt vời, boron nitride ngăn ngừa đoản mạch và duy trì khả năng cách điện trong các thiết bị bán dẫn.

• Độ dẫn nhiệt: Boron nitride có tính dẫn nhiệt tốt, tạo điều kiện truyền nhiệt hiệu quả và phân bổ nhiệt độ đồng đều trong lò chân không.

Các thành phần boron nitride phổ biến được sử dụng trong lò chân không bán dẫn bao gồm:

• Nồi nấu kim loại và vật chứa: Được sử dụng để đựng các tấm bán dẫn hoặc vật liệu trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao.

• Lớp lót và vật liệu cách nhiệt: Bảo vệ thành lò và duy trì nhiệt độ mong muốn.

• Đồ gá và Giá đỡ: Định vị và đỡ các tấm bán dẫn hoặc linh kiện trong quá trình xử lý.

• Tấm chắn và vách ngăn: Kiểm soát dòng khí và ngăn ngừa lây nhiễm chéo.

  Các đặc tính nhiệt, hóa học và điện đặc biệt của boron nitride khiến nó không thể thiếu trong các ứng dụng lò chân không bán dẫn, góp phần sản xuất hiệu quả và đáng tin cậy các thiết bị bán dẫn tiên tiến.