Нітрид бору: необхідний для напівпровідникових вакуумних печей

  У напівпровідниковій промисловості нітрид бору (BN) відіграє вирішальну роль у застосуваннях у вакуумних печах завдяки своїм винятковим властивостям. Вакуумні печі необхідні для різних процесів виробництва напівпровідників, включаючи відпал, дифузію та хімічне осадження з парової фази (CVD).
Компоненти з нітриду бору широко використовуються в цих вакуумних печах з кількох причин:

• Високотемпературна стабільність: нітрид бору демонструє чудову термостабільність і може витримувати температуру до 2,000°C в інертній атмосфері або вакуумному середовищі, що робить його придатним для високотемпературних напівпровідникових процесів.

• Хімічна інертність: нітрид бору є хімічно інертним і стійким до більшості кислот, лугів і розчинників, що забезпечує сумісність з різними напівпровідниковими матеріалами та технологічними газами.

• Електрична ізоляція: завдяки відмінним електроізоляційним властивостям нітрид бору запобігає коротким замиканням і підтримує електричну ізоляцію в напівпровідникових пристроях.

• Теплопровідність: нітрид бору має хорошу теплопровідність, що сприяє ефективній теплопередачі та рівномірному розподілу температури у вакуумній печі.

Загальні компоненти нітриду бору, які використовуються у напівпровідникових вакуумних печах, включають:

• Тиглі та контейнери: використовуються для зберігання напівпровідникових пластин або матеріалів під час високотемпературних процесів.

• Футеровки та ізоляційні матеріали: захистіть стінки печі та підтримуйте потрібні температурні профілі.

• Кріплення та тримачі: розташуйте та підтримуйте напівпровідникові пластини або компоненти під час обробки.

• Екрани та перегородки: контролюйте потік газу та запобігайте перехресному забрудненню.

  Виняткові термічні, хімічні та електричні властивості нітриду бору роблять його незамінним у напівпровідникових вакуумних печах, сприяючи ефективному та надійному виробництву передових напівпровідникових пристроїв.