Bor Nitrür: Yarı İletken Vakum Fırınları İçin Esastır

  Yarı iletken endüstrisinde bor nitrür (BN), olağanüstü özelliklerinden dolayı vakumlu fırın uygulamalarında çok önemli bir rol oynar. Vakum fırınları, tavlama, difüzyon ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) dahil olmak üzere çeşitli yarı iletken üretim süreçleri için gereklidir.
Bor nitrür bileşenleri bu vakum fırınlarında çeşitli nedenlerden dolayı yaygın olarak kullanılmaktadır:

• Yüksek Sıcaklık Kararlılığı: Bor nitrür mükemmel termal stabilite sergiler ve inert bir atmosferde veya vakum ortamında 2,000°C'ye kadar sıcaklıklara dayanabilir, bu da onu yüksek sıcaklıktaki yarı iletken işlemler için uygun kılar.

• Kimyasal İnertlik: Bor nitrür kimyasal olarak inerttir ve çoğu asit, baz ve solvente karşı dirençlidir, çeşitli yarı iletken malzemeler ve proses gazlarıyla uyumluluk sağlar.

• Elektrik Yalıtımı: Mükemmel elektrik yalıtım özelliklerine sahip olan bor nitrür, kısa devreleri önler ve yarı iletken cihazlarda elektriksel izolasyonu korur.

• Isıl İletkenlik: Bor nitrür, iyi bir ısı iletkenliğine sahiptir ve vakum fırını içinde verimli ısı transferini ve eşit sıcaklık dağılımını kolaylaştırır.

Yarı iletken vakum fırınlarında kullanılan yaygın bor nitrür bileşenleri şunları içerir:

• Potalar ve Kaplar: Yüksek sıcaklıktaki işlemler sırasında yarı iletken plakaları veya malzemeleri tutmak için kullanılır.

• Astarlar ve Yalıtım Malzemeleri: Fırın duvarlarını koruyun ve istenen sıcaklık profillerini koruyun.

• Fikstürler ve Tutucular: İşleme sırasında yarı iletken plakaları veya bileşenleri konumlandırın ve destekleyin.

• Kalkanlar ve Yönlendirme Plakaları: Gaz akışını kontrol edin ve çapraz kirlenmeyi önleyin.

  Bor nitrürün olağanüstü termal, kimyasal ve elektriksel özellikleri, onu yarı iletken vakumlu fırın uygulamalarında vazgeçilmez kılmakta ve gelişmiş yarı iletken cihazların verimli ve güvenilir üretimine katkıda bulunmaktadır.