Boron Nitride: Mahalaga Para sa Semiconductor Vacuum Furnaces

  Sa industriya ng semiconductor, ang boron nitride (BN) ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa mga aplikasyon ng vacuum furnace dahil sa mga natatanging katangian nito. Ang mga vacuum furnace ay mahalaga para sa iba't ibang proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, kabilang ang annealing, diffusion, at chemical vapor deposition (CVD).
Ang mga bahagi ng boron nitride ay malawakang ginagamit sa mga vacuum furnace na ito para sa ilang kadahilanan:

• Katatagan ng Mataas na Temperatura: Ang Boron nitride ay nagpapakita ng mahusay na thermal stability at kayang tiisin ang mga temperatura hanggang 2,000°C sa isang inert na kapaligiran o vacuum na kapaligiran, na ginagawa itong angkop para sa mga proseso ng high-temperature na semiconductor.

• Chemical Inertness: Ang boron nitride ay chemically inert at lumalaban sa karamihan ng mga acid, base, at solvents, na tinitiyak ang pagiging tugma sa iba't ibang semiconductor na materyales at mga proseso ng gas.

• Electrical Insulation: May mahusay na electrical insulation properties, pinipigilan ng boron nitride ang mga short circuit at pinapanatili ang electrical isolation sa mga semiconductor device.

• Thermal Conductivity: Ang Boron nitride ay nagtataglay ng magandang thermal conductivity, na nagpapadali sa mahusay na paglipat ng init at pare-parehong pamamahagi ng temperatura sa loob ng vacuum furnace.

Ang mga karaniwang bahagi ng boron nitride na ginagamit sa mga semiconductor vacuum furnace ay kinabibilangan ng:

• Mga Crucibles at Container: Ginagamit para sa paghawak ng mga semiconductor wafer o materyales sa panahon ng mga prosesong may mataas na temperatura.

• Mga Liner at Insulation Materials: Protektahan ang mga dingding ng furnace at panatilihin ang nais na mga profile ng temperatura.

• Mga Fixture at Holder: Iposisyon at suportahan ang mga semiconductor na wafer o mga bahagi habang pinoproseso.

• Mga Shield at Baffle: Kontrolin ang daloy ng gas at maiwasan ang cross-contamination.

  Ang pambihirang thermal, chemical, at electrical properties ng boron nitride ay ginagawa itong kailangang-kailangan sa mga aplikasyon ng semiconductor vacuum furnace, na nag-aambag sa mahusay at maaasahang produksyon ng mga advanced na semiconductor device.