โบรอนไนไตรด์: จำเป็นสำหรับเตาสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์

  ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โบรอนไนไตรด์ (BN) มีบทบาทสำคัญในการใช้งานเตาสุญญากาศเนื่องจากมีคุณสมบัติพิเศษ เตาสุญญากาศมีความจำเป็นสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ รวมถึงการหลอม การแพร่กระจาย และการสะสมไอสารเคมี (CVD)
ส่วนประกอบโบรอนไนไตรด์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในเตาสุญญากาศเหล่านี้ด้วยเหตุผลหลายประการ:

• ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง: โบรอนไนไตรด์มีความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยม และสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 2,000°C ในบรรยากาศเฉื่อยหรือสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ทำให้เหมาะสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง

• ความเฉื่อยของสารเคมี: โบรอนไนไตรด์เป็นสารเฉื่อยทางเคมีและทนทานต่อกรด เบส และตัวทำละลายส่วนใหญ่ ทำให้มั่นใจได้ว่าสามารถเข้ากันได้กับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และก๊าซในกระบวนการต่างๆ

• ฉนวนไฟฟ้า: ด้วยคุณสมบัติของฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม โบรอนไนไตรด์ป้องกันการลัดวงจรและรักษาการแยกตัวทางไฟฟ้าในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

• การนำความร้อน: โบรอนไนไตรด์มีคุณสมบัติการนำความร้อนที่ดี ช่วยให้ถ่ายเทความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และกระจายอุณหภูมิสม่ำเสมอภายในเตาสุญญากาศ

ส่วนประกอบโบรอนไนไตรด์ทั่วไปที่ใช้ในเตาสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่:

• ถ้วยใส่ตัวอย่างและภาชนะบรรจุ: ใช้สำหรับยึดเวเฟอร์หรือวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง

• วัสดุบุผิวและวัสดุฉนวน: ปกป้องผนังเตาหลอมและรักษาโปรไฟล์อุณหภูมิที่ต้องการ

• อุปกรณ์จับยึดและตัวยึด: วางตำแหน่งและรองรับเวเฟอร์หรือส่วนประกอบของเซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างการประมวลผล

• แผงป้องกันและแผ่นกั้น: ควบคุมการไหลของก๊าซและป้องกันการปนเปื้อนข้าม

  คุณสมบัติทางความร้อน เคมี และไฟฟ้าที่โดดเด่นของโบรอนไนไตรด์ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในการใช้งานเตาสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมีส่วนช่วยในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงที่มีประสิทธิภาพและเชื่อถือได้