Bornitrid: viktigt för halvledarvakuumugnar

  Inom halvledarindustrin spelar bornitrid (BN) en avgörande roll i vakuumugnstillämpningar på grund av dess exceptionella egenskaper. Vakuumugnar är väsentliga för olika tillverkningsprocesser för halvledartillverkning, inklusive glödgning, diffusion och kemisk ångavsättning (CVD).
Bornitridkomponenter används ofta i dessa vakuumugnar av flera skäl:

• Högtemperaturstabilitet: Bornitrid uppvisar utmärkt termisk stabilitet och tål temperaturer upp till 2,000 XNUMX°C i en inert atmosfär eller vakuummiljö, vilket gör den lämplig för högtemperaturhalvledarprocesser.

• Kemisk tröghet: Bornitrid är kemiskt inert och resistent mot de flesta syror, baser och lösningsmedel, vilket säkerställer kompatibilitet med olika halvledarmaterial och processgaser.

• Elektrisk isolering: Med utmärkta elektriska isoleringsegenskaper förhindrar bornitrid kortslutningar och upprätthåller elektrisk isolering i halvledarenheter.

• Värmeledningsförmåga: Bornitrid har god värmeledningsförmåga, vilket underlättar effektiv värmeöverföring och jämn temperaturfördelning i vakuumugnen.

Vanliga bornitridkomponenter som används i halvledarvakuumugnar inkluderar:

• Deglar och behållare: Används för att hålla halvledarskivor eller material under högtemperaturprocesser.

• Foder och isoleringsmaterial: Skydda ugnsväggar och bibehåll önskade temperaturprofiler.

• Fixturer och hållare: Placera och stödja halvledarskivor eller komponenter under bearbetning.

• Sköldar och baffel: Kontrollera gasflödet och förhindra korskontaminering.

  Bornitrids exceptionella termiska, kemiska och elektriska egenskaper gör den oumbärlig i applikationer med halvledarvakuumugnar, vilket bidrar till effektiv och pålitlig produktion av avancerade halvledarenheter.