Бор нитрид: неопходан за полупроводничке вакуумске пећи

  У индустрији полупроводника, бор нитрид (БН) игра кључну улогу у применама вакуумских пећи због својих изузетних својстава. Вакумске пећи су неопходне за различите производне процесе полупроводника, укључујући жарење, дифузију и хемијско таложење паре (ЦВД).
Компоненте бор нитрида се широко користе у овим вакуумским пећима из неколико разлога:

• Стабилност при високим температурама: Бор нитрид показује одличну термичку стабилност и може да издржи температуре до 2,000°Ц у инертној атмосфери или вакуумском окружењу, што га чини погодним за високотемпературне полупроводничке процесе.

• Хемијска инертност: Бор нитрид је хемијски инертан и отпоран на већину киселина, база и растварача, обезбеђујући компатибилност са различитим полупроводничким материјалима и процесним гасовима.

• Електрична изолација: Са одличним својствима електричне изолације, бор нитрид спречава кратке спојеве и одржава електричну изолацију у полупроводничким уређајима.

• Топлотна проводљивост: Бор нитрид поседује добру топлотну проводљивост, омогућавајући ефикасан пренос топлоте и равномерну дистрибуцију температуре унутар вакуумске пећи.

Уобичајене компоненте бор нитрида које се користе у полупроводничким вакуумским пећима укључују:

• Тиглице и контејнери: Користе се за држање полупроводничких плочица или материјала током процеса на високим температурама.

• Облоге и изолациони материјали: Заштитите зидове пећи и одржавајте жељене температурне профиле.

• Учвршћења и држачи: Поставите и подржите полупроводничке плочице или компоненте током обраде.

• Штитови и преграде: Контролишите проток гаса и спречите унакрсну контаминацију.

  Изузетна термичка, хемијска и електрична својства бор нитрида чине га незаменљивим у апликацијама у полупроводничким вакуум пећима, доприносећи ефикасној и поузданој производњи напредних полупроводничких уређаја.