Borov nitrid: nujen za polprevodniške vakuumske peči

  V industriji polprevodnikov ima borov nitrid (BN) ključno vlogo pri aplikacijah v vakuumskih pečeh zaradi svojih izjemnih lastnosti. Vakuumske peči so bistvenega pomena za različne postopke izdelave polprevodnikov, vključno z žarjenjem, difuzijo in nanašanjem s kemično paro (CVD).
Komponente borovega nitrida se pogosto uporabljajo v teh vakuumskih pečeh iz več razlogov:

• Visokotemperaturna stabilnost: Borov nitrid ima odlično toplotno stabilnost in lahko prenese temperature do 2,000 °C v inertni atmosferi ali vakuumskem okolju, zaradi česar je primeren za visokotemperaturne polprevodniške procese.

• Kemijska inertnost: borov nitrid je kemično inerten in odporen na večino kislin, baz in topil, kar zagotavlja združljivost z različnimi polprevodniškimi materiali in procesnimi plini.

• Električna izolacija: z odličnimi električnimi izolacijskimi lastnostmi borov nitrid preprečuje kratke stike in ohranja električno izolacijo v polprevodniških napravah.

• Toplotna prevodnost: borov nitrid ima dobro toplotno prevodnost, kar omogoča učinkovit prenos toplote in enakomerno porazdelitev temperature v vakuumski peči.

Običajne komponente borovega nitrida, ki se uporabljajo v polprevodniških vakuumskih pečeh, vključujejo:

• Lončki in posode: Uporabljajo se za shranjevanje polprevodniških rezin ali materialov med visokotemperaturnimi procesi.

• Obloge in izolacijski materiali: zaščitite stene peči in vzdržujte želene temperaturne profile.

• Pritrdilni elementi in držala: Postavite in podprite polprevodniške rezine ali komponente med obdelavo.

• Ščiti in lopute: nadzorujejo pretok plina in preprečujejo navzkrižno kontaminacijo.

  Zaradi izjemnih toplotnih, kemičnih in električnih lastnosti borovega nitrida je nepogrešljiv v aplikacijah v vakuumskih polprevodniških pečeh, saj prispeva k učinkoviti in zanesljivi proizvodnji naprednih polprevodniških naprav.