Nitrură de bor: esențială pentru cuptoarele cu vid cu semiconductor

  În industria semiconductoarelor, nitrura de bor (BN) joacă un rol crucial în aplicațiile cuptoarelor cu vid datorită proprietăților sale excepționale. Cuptoarele cu vid sunt esențiale pentru diferite procese de fabricație a semiconductoarelor, inclusiv recoacerea, difuzia și depunerea chimică în vapori (CVD).
Componentele cu nitrură de bor sunt utilizate pe scară largă în aceste cuptoare cu vid din mai multe motive:

• Stabilitate la temperatură ridicată: Nitrura de bor prezintă o stabilitate termică excelentă și poate rezista la temperaturi de până la 2,000°C într-o atmosferă inertă sau într-un mediu de vid, ceea ce o face potrivită pentru procesele semiconductoare la temperatură înaltă.

• Inerție chimică: nitrura de bor este inertă din punct de vedere chimic și rezistentă la majoritatea acizilor, bazelor și solvenților, asigurând compatibilitatea cu diferite materiale semiconductoare și gaze de proces.

• Izolație electrică: Cu proprietăți excelente de izolare electrică, nitrura de bor previne scurtcircuitele și menține izolarea electrică a dispozitivelor semiconductoare.

• Conductivitate termică: Nitrura de bor are o conductivitate termică bună, facilitând transferul eficient de căldură și distribuția uniformă a temperaturii în cuptorul cu vid.

Componentele obișnuite cu nitrură de bor utilizate în cuptoarele cu vid cu semiconductori includ:

• Creuzete și containere: Folosit pentru păstrarea plăcilor sau materialelor semiconductoare în timpul proceselor la temperatură înaltă.

• Căptușeală și materiale de izolare: Protejați pereții cuptorului și mențineți profilele de temperatură dorite.

• Fixare și suporturi: Poziționați și sprijiniți plăcile sau componentele semiconductoare în timpul procesării.

• Scuturi și deflectoare: Controlează fluxul de gaz și previne contaminarea încrucișată.

  Proprietățile termice, chimice și electrice excepționale ale nitrurii de bor o fac indispensabilă în aplicațiile cuptoarelor cu vid semiconductoare, contribuind la producția eficientă și fiabilă de dispozitive semiconductoare avansate.