Azotek boru: niezbędny w półprzewodnikowych piecach próżniowych

  W przemyśle półprzewodników azotek boru (BN) odgrywa kluczową rolę w zastosowaniach w piecach próżniowych ze względu na swoje wyjątkowe właściwości. Piece próżniowe są niezbędne w różnych procesach produkcji półprzewodników, w tym w wyżarzaniu, dyfuzji i chemicznym osadzaniu z fazy gazowej (CVD).
Składniki azotku boru są szeroko stosowane w tych piecach próżniowych z kilku powodów:

• Stabilność w wysokich temperaturach: Azotek boru wykazuje doskonałą stabilność termiczną i wytrzymuje temperatury do 2,000°C w atmosferze obojętnej lub środowisku próżniowym, dzięki czemu nadaje się do wysokotemperaturowych procesów półprzewodnikowych.

• Obojętność chemiczna: Azotek boru jest chemicznie obojętny i odporny na większość kwasów, zasad i rozpuszczalników, zapewniając kompatybilność z różnymi materiałami półprzewodnikowymi i gazami procesowymi.

• Izolacja elektryczna: Dzięki doskonałym właściwościom izolacji elektrycznej azotek boru zapobiega zwarciom i utrzymuje izolację elektryczną w urządzeniach półprzewodnikowych.

• Przewodność cieplna: Azotek boru ma dobrą przewodność cieplną, umożliwiając efektywne przekazywanie ciepła i równomierny rozkład temperatury w piecu próżniowym.

Typowe składniki azotku boru stosowane w półprzewodnikowych piecach próżniowych obejmują:

• Tygle i pojemniki: używane do przechowywania płytek lub materiałów półprzewodnikowych podczas procesów wysokotemperaturowych.

• Wyłożenia i materiały izolacyjne: Chroń ściany pieca i utrzymuj pożądane profile temperaturowe.

• Uchwyty i uchwyty: Umieszczaj i podpieraj płytki półprzewodnikowe lub komponenty podczas przetwarzania.

• Osłony i przegrody: kontroluj przepływ gazu i zapobiegaj zanieczyszczeniom krzyżowym.

  Wyjątkowe właściwości termiczne, chemiczne i elektryczne azotku boru sprawiają, że jest on niezbędny w zastosowaniach z półprzewodnikowymi piecami próżniowymi, przyczyniając się do wydajnej i niezawodnej produkcji zaawansowanych urządzeń półprzewodnikowych.