Bornitrid: viktig for halvledervakuumovner

  I halvlederindustrien spiller bornitrid (BN) en avgjørende rolle i vakuumovnsapplikasjoner på grunn av dets eksepsjonelle egenskaper. Vakuumovner er avgjørende for ulike halvlederproduksjonsprosesser, inkludert gløding, diffusjon og kjemisk dampavsetning (CVD).
Bornitridkomponenter er mye brukt i disse vakuumovnene av flere grunner:

• Høytemperaturstabilitet: Bornitrid viser utmerket termisk stabilitet og tåler temperaturer opp til 2,000°C i en inert atmosfære eller vakuummiljø, noe som gjør den egnet for høytemperaturhalvlederprosesser.

• Kjemisk inerthet: Bornitrid er kjemisk inert og motstandsdyktig mot de fleste syrer, baser og løsningsmidler, noe som sikrer kompatibilitet med ulike halvledermaterialer og prosessgasser.

• Elektrisk isolasjon: Med utmerkede elektriske isolasjonsegenskaper forhindrer bornitrid kortslutninger og opprettholder elektrisk isolasjon i halvlederenheter.

• Termisk ledningsevne: Bornitrid har god varmeledningsevne, noe som muliggjør effektiv varmeoverføring og jevn temperaturfordeling i vakuumovnen.

Vanlige bornitridkomponenter som brukes i halvledervakuumovner inkluderer:

• Digler og beholdere: Brukes for å holde halvlederskiver eller materialer under høytemperaturprosesser.

• Foringer og isolasjonsmaterialer: Beskytt ovnsvegger og opprettholde ønskede temperaturprofiler.

• Inventar og holdere: Plasser og støtte halvlederskiver eller komponenter under prosessering.

• Skjold og ledeplater: Kontroller gassstrømmen og forhindrer krysskontaminering.

  De eksepsjonelle termiske, kjemiske og elektriske egenskapene til bornitrid gjør det uunnværlig i halvledervakuumovnsapplikasjoner, og bidrar til effektiv og pålitelig produksjon av avanserte halvlederenheter.