Boornitride: essentieel voor halfgeleidervacuümovens

  In de halfgeleiderindustrie speelt boornitride (BN) vanwege zijn uitzonderlijke eigenschappen een cruciale rol in vacuümoventoepassingen. Vacuümovens zijn essentieel voor verschillende productieprocessen van halfgeleiders, waaronder gloeien, diffusie en chemische dampafzetting (CVD).
Boriumnitridecomponenten worden om verschillende redenen veel gebruikt in deze vacuümovens:

• Stabiliteit bij hoge temperaturen: Boriumnitride vertoont een uitstekende thermische stabiliteit en is bestand tegen temperaturen tot 2,000°C in een inerte atmosfeer of vacuümomgeving, waardoor het geschikt is voor halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen.

• Chemische inertheid: Boriumnitride is chemisch inert en bestand tegen de meeste zuren, basen en oplosmiddelen, waardoor compatibiliteit met verschillende halfgeleidermaterialen en procesgassen wordt gegarandeerd.

• Elektrische isolatie: Met uitstekende elektrische isolatie-eigenschappen voorkomt boornitride kortsluiting en handhaaft het de elektrische isolatie in halfgeleiderapparaten.

• Thermische geleidbaarheid: Boriumnitride heeft een goede thermische geleidbaarheid, wat een efficiënte warmteoverdracht en uniforme temperatuurverdeling binnen de vacuümoven mogelijk maakt.

Veel voorkomende boornitridecomponenten die worden gebruikt in halfgeleidervacuümovens zijn onder meer:

• Kroezen en containers: gebruikt voor het bewaren van halfgeleiderwafels of materialen tijdens processen bij hoge temperaturen.

• Voeringen en isolatiematerialen: Bescherm ovenwanden en handhaaf de gewenste temperatuurprofielen.

• Armaturen en houders: positioneer en ondersteun halfgeleiderwafels of componenten tijdens de verwerking.

• Schilden en schotten: controleer de gasstroom en voorkom kruisbesmetting.

  De uitzonderlijke thermische, chemische en elektrische eigenschappen van boornitride maken het onmisbaar in halfgeleidervacuümoventoepassingen en dragen bij aan de efficiënte en betrouwbare productie van geavanceerde halfgeleiderapparaten.