Bora nitrīds: būtisks pusvadītāju vakuuma krāsnīm

  Pusvadītāju rūpniecībā bora nitrīdam (BN) ir izšķiroša nozīme vakuuma krāsnīs, pateicoties tā izcilajām īpašībām. Vakuuma krāsnis ir būtiskas dažādiem pusvadītāju ražošanas procesiem, tostarp atlaidināšanai, difūzijai un ķīmiskai tvaiku pārklāšanai (CVD).
Bora nitrīda sastāvdaļas tiek plaši izmantotas šajās vakuuma krāsnīs vairāku iemeslu dēļ:

• Augstas temperatūras stabilitāte: Bora nitrīdam ir lieliska termiskā stabilitāte un tas var izturēt temperatūru līdz 2,000 °C inertā atmosfērā vai vakuuma vidē, padarot to piemērotu augstas temperatūras pusvadītāju procesiem.

• Ķīmiskā inerce: Bora nitrīds ir ķīmiski inerts un izturīgs pret lielāko daļu skābju, bāzu un šķīdinātāju, nodrošinot savietojamību ar dažādiem pusvadītāju materiāliem un procesa gāzēm.

• Elektriskā izolācija: ar lieliskām elektriskās izolācijas īpašībām bora nitrīds novērš īssavienojumus un uztur elektrisko izolāciju pusvadītāju ierīcēs.

• Siltumvadītspēja: Bora nitrīdam ir laba siltumvadītspēja, kas veicina efektīvu siltuma pārnesi un vienmērīgu temperatūras sadalījumu vakuuma krāsnī.

Parastie bora nitrīda komponenti, ko izmanto pusvadītāju vakuuma krāsnīs, ir:

• Tīģeļi un konteineri: izmanto pusvadītāju plāksnīšu vai materiālu turēšanai augstas temperatūras procesos.

• Ieliktņi un izolācijas materiāli: aizsargājiet krāsns sienas un uzturiet vēlamos temperatūras profilus.

• Armatūra un turētāji: apstrādes laikā novietojiet un atbalstiet pusvadītāju plāksnes vai komponentus.

• Vairogi un deflektori: kontrolē gāzes plūsmu un novērš savstarpēju piesārņojumu.

  Bora nitrīda izcilās termiskās, ķīmiskās un elektriskās īpašības padara to par neaizstājamu pusvadītāju vakuuma krāsnīs, veicinot progresīvu pusvadītāju ierīču efektīvu un uzticamu ražošanu.