Boro nitridas: būtinas puslaidininkinėms vakuuminėms krosnims

  Puslaidininkių pramonėje boro nitridas (BN) vaidina lemiamą vaidmenį vakuuminėse krosnyse dėl savo išskirtinių savybių. Vakuuminės krosnys yra būtinos įvairiems puslaidininkių gamybos procesams, įskaitant atkaitinimą, difuziją ir cheminį nusodinimą iš garų (CVD).
Boro nitrido komponentai yra plačiai naudojami šiose vakuuminėse krosnyse dėl kelių priežasčių:

• Stabilumas aukštoje temperatūroje: boro nitridas pasižymi puikiu terminiu stabilumu ir gali atlaikyti iki 2,000°C temperatūrą inertinėje atmosferoje arba vakuuminėje aplinkoje, todėl tinka aukštatemperatūriams puslaidininkių procesams.

• Cheminis inertiškumas: boro nitridas yra chemiškai inertiškas ir atsparus daugumai rūgščių, bazių ir tirpiklių, todėl užtikrina suderinamumą su įvairiomis puslaidininkinėmis medžiagomis ir proceso dujomis.

• Elektros izoliacija: pasižymintis puikiomis elektros izoliacinėmis savybėmis, boro nitridas apsaugo nuo trumpojo jungimo ir palaiko elektros izoliaciją puslaidininkiniuose įrenginiuose.

• Šilumos laidumas: boro nitridas pasižymi geru šilumos laidumu, palengvina efektyvų šilumos perdavimą ir vienodą temperatūros pasiskirstymą vakuuminėje krosnyje.

Įprasti boro nitrido komponentai, naudojami puslaidininkinėse vakuuminėse krosnyse, yra šie:

• Tigliai ir konteineriai: naudojami puslaidininkinėms plokštelėms arba medžiagoms laikyti vykstant aukštos temperatūros procesams.

• Įdėklai ir izoliacinės medžiagos: Apsaugokite krosnies sienas ir palaikykite norimus temperatūros profilius.

• Fiksatoriai ir laikikliai: apdirbimo metu nustatykite ir palaikykite puslaidininkines plokšteles arba komponentus.

• Skydai ir pertvaros: valdykite dujų srautą ir apsaugokite nuo kryžminio užteršimo.

  Dėl išskirtinių boro nitrido šiluminių, cheminių ir elektrinių savybių jis yra nepakeičiamas puslaidininkinėse vakuuminėse krosnyse, prisidedant prie efektyvios ir patikimos pažangių puslaidininkinių įtaisų gamybos.