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질화붕소 도가니, BN & PBN

질화붕소 도가니, BN & PBN

고순도 질화붕소 도가니 PVD 공정에서
순도 요구 사항:
질화붕소 도가니는 일반적으로 순도 99.7%의 고순도 질화붕소로 제작되어 도가니 내부의 용융물의 청결과 안정성을 보장합니다.

전도성 질화붕소 도가니 소개:
질화붕소 세라믹은 뛰어난 절연성과 높은 저항률로 잘 알려져 있습니다. 그러나 전도성 질화붕소(c-BN) 도가니는 더욱 균일하고 제어된 가열을 용이하게 하도록 특별히 설계되어 전도성이 필수적인 증발 공정의 요구를 충족합니다.

PBN Crucible 소개:
PBN 도가니의 정식 명칭은 열분해 질화붕소(Pyrolytic Boron Nitride)입니다. 제조 과정에서 기상 증착법을 사용하기 때문에 PBN 도가니는 매우 높은 순도를 제공하여 반도체 응용 분야인 질화갈륨(GaN) 결정 성장과 같은 고성능 소재 생산에 이상적입니다.

질화붕소 도가니(BN 도가니)의 주요 응용 분야

1. 금속 증발원 도가니
질화붕소 도가니(BN 도가니)는 PVD(물리 기상 증착) 공정에서 금속 증착원으로 널리 사용됩니다. 이 공정에서는 금속이나 기타 물질을 기체 상태로 증발시킨 후 기판에 증착하여 박막층을 형성합니다.

2. 반도체 재료 성장
BN 도가니는 특정 반도체 재료의 성장에도 사용되며, 특히 고온 안정성과 용융물의 정밀한 제어가 필요할 때 더욱 그렇습니다. 질화붕소는 뛰어난 열 안정성과 내식성을 갖추고 있어 이러한 용도에 이상적입니다.

3. 광학 및 전자 재료 가공
질화붕소 도가니(BN 도가니)는 고온 제어와 깨끗한 처리가 중요한 광학 및 전자 재료의 용융 및 가공에 광범위하게 사용됩니다.


질화붕소 도가니(BN 도가니)의 장점

1. 고온 화학적 안정성 및 내식성
질화붕소 도가니는 뛰어난 고온 화학적 안정성과 내식성을 제공하여 금속 증발 및 PVD 증착 공정에 관련된 고온과 화학 반응을 견뎌내 재료 순도와 안정성을 보장합니다.

2. 산소 오염 방지
BN 도가니는 질화 처리된 소재로 제작되어 고온에서 산화물 도가니를 사용할 때 발생할 수 있는 산소 오염을 효과적으로 방지합니다. 이를 통해 용융물의 순도와 효율적인 소재 가공이 보장됩니다.

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