בורון ניטריד: חיוני לתנורי ואקום מוליכים למחצה

  בתעשיית המוליכים למחצה, בורון ניטריד (BN) ממלא תפקיד מכריע ביישומי תנורי ואקום בשל תכונותיו יוצאות הדופן. תנורי ואקום חיוניים לתהליכי ייצור מוליכים למחצה שונים, כולל חישול, דיפוזיה ותצהיר אדי כימי (CVD).
רכיבי בורון ניטריד נמצאים בשימוש נרחב בתנורי ואקום אלה מכמה סיבות:

• יציבות בטמפרטורה גבוהה: בורון ניטריד מפגין יציבות תרמית מעולה ויכול לעמוד בטמפרטורות של עד 2,000 מעלות צלזיוס באווירה אינרטית או בסביבת ואקום, מה שהופך אותו למתאים לתהליכי מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה.

• אינרטיות כימית: בורון ניטריד אינרטי מבחינה כימית ועמיד לרוב החומצות, הבסיסים והממיסים, מה שמבטיח תאימות עם חומרים מוליכים למחצה שונים וגזי תהליך.

• בידוד חשמלי: בעל תכונות בידוד חשמלי מעולות, בורון ניטריד מונע קצרים ושומר על בידוד חשמלי במכשירי מוליכים למחצה.

• מוליכות תרמית: בורון ניטריד הוא בעל מוליכות תרמית טובה, המאפשר העברת חום יעילה וחלוקת טמפרטורה אחידה בתוך תנור הוואקום.

רכיבי בורון ניטריד נפוצים המשמשים בתנורי ואקום מוליכים למחצה כוללים:

• כור היתוך ומיכלים: משמש להחזקת פרוסות מוליכים למחצה או חומרים במהלך תהליכים בטמפרטורה גבוהה.

• ספינות וחומרי בידוד: הגן על קירות התנור ושמור על פרופילי טמפרטורה רצויים.

• מתקנים ומחזיקים: מקם ותמך בפרוסות או רכיבים מוליכים למחצה במהלך העיבוד.

• מגנים ומבלים: בקרת זרימת הגז ומניעת זיהום צולב.

  המאפיינים התרמיים, הכימיים והחשמליים יוצאי הדופן של בורון ניטריד הופכים אותו לחיוני ביישומי תנורי ואקום מוליכים למחצה, ותורמים לייצור יעיל ואמין של התקני מוליכים למחצה מתקדמים.