Borov nitrid: neophodan za poluvodičke vakuumske peći

  U industriji poluvodiča, borov nitrid (BN) igra ključnu ulogu u primjenama vakuumskih peći zbog svojih iznimnih svojstava. Vakuumske peći neophodne su za razne procese proizvodnje poluvodiča, uključujući žarenje, difuziju i kemijsko taloženje iz pare (CVD).
Komponente bor nitrida naširoko se koriste u ovim vakuumskim pećima iz nekoliko razloga:

• Visokotemperaturna stabilnost: bor nitrid pokazuje izvrsnu toplinsku stabilnost i može izdržati temperature do 2,000°C u inertnoj atmosferi ili vakuumskom okruženju, što ga čini pogodnim za visokotemperaturne poluvodičke procese.

• Kemijska inertnost: bor nitrid je kemijski inertan i otporan na većinu kiselina, baza i otapala, osiguravajući kompatibilnost s različitim poluvodičkim materijalima i procesnim plinovima.

• Električna izolacija: s izvrsnim svojstvima električne izolacije, bor nitrid sprječava kratke spojeve i održava električnu izolaciju u poluvodičkim uređajima.

• Toplinska vodljivost: Borov nitrid ima dobru toplinsku vodljivost, olakšavajući učinkovit prijenos topline i ravnomjernu raspodjelu temperature unutar vakuumske peći.

Uobičajene komponente bor nitrida koje se koriste u poluvodičkim vakuumskim pećima uključuju:

• Lonci i spremnici: koriste se za držanje poluvodičkih pločica ili materijala tijekom procesa na visokim temperaturama.

• Obloge i izolacijski materijali: Zaštitite stijenke peći i održavajte željene temperaturne profile.

• Učvršćenja i držači: Postavite i poduprite poluvodičke ploče ili komponente tijekom obrade.

• Štitovi i pregrade: kontroliraju protok plina i sprječavaju unakrsnu kontaminaciju.

  Iznimna toplinska, kemijska i električna svojstva bor nitrida čine ga nezamjenjivim u aplikacijama poluvodičkih vakuumskih peći, pridonoseći učinkovitoj i pouzdanoj proizvodnji naprednih poluvodičkih uređaja.