बोरोन नाइट्राइड: सेमीकंडक्टर वैक्यूम फर्नेस के लिए आवश्यक

  सेमीकंडक्टर उद्योग में, बोरॉन नाइट्राइड (बीएन) अपने असाधारण गुणों के कारण वैक्यूम फर्नेस अनुप्रयोगों में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। वैक्यूम फर्नेस विभिन्न सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक हैं, जिनमें एनीलिंग, प्रसार और रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) शामिल हैं।
बोरॉन नाइट्राइड घटकों का उपयोग इन वैक्यूम भट्टियों में कई कारणों से व्यापक रूप से किया जाता है:

• उच्च तापमान स्थिरता: बोरॉन नाइट्राइड उत्कृष्ट तापीय स्थिरता प्रदर्शित करता है और निष्क्रिय वातावरण या वैक्यूम वातावरण में 2,000 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान का सामना कर सकता है, जिससे यह उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।

• रासायनिक निष्क्रियता: बोरोन नाइट्राइड रासायनिक रूप से निष्क्रिय है और अधिकांश अम्लों, क्षारों और विलायकों के प्रति प्रतिरोधी है, जो विभिन्न अर्धचालक सामग्रियों और प्रक्रिया गैसों के साथ संगतता सुनिश्चित करता है।

• विद्युत इन्सुलेशन: उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन गुणों के साथ, बोरॉन नाइट्राइड शॉर्ट सर्किट को रोकता है और अर्धचालक उपकरणों में विद्युत अलगाव बनाए रखता है।

• तापीय चालकता: बोरोन नाइट्राइड में अच्छी तापीय चालकता होती है, जो वैक्यूम भट्टी के भीतर कुशल ताप हस्तांतरण और समान तापमान वितरण की सुविधा प्रदान करती है।

अर्धचालक वैक्यूम भट्टियों में प्रयुक्त सामान्य बोरॉन नाइट्राइड घटकों में शामिल हैं:

• क्रूसिबल्स और कंटेनर: उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान अर्धचालक वेफर्स या सामग्रियों को रखने के लिए उपयोग किया जाता है।

• लाइनर और इन्सुलेशन सामग्री: भट्ठी की दीवारों की सुरक्षा करें और वांछित तापमान प्रोफ़ाइल बनाए रखें।

• फिक्सचर और होल्डर: प्रसंस्करण के दौरान अर्धचालक वेफर्स या घटकों को स्थिति में रखना और समर्थन देना।

• ढाल और बाधक: गैस प्रवाह को नियंत्रित करते हैं और क्रॉस-संदूषण को रोकते हैं।

  बोरॉन नाइट्राइड के असाधारण तापीय, रासायनिक और विद्युत गुण इसे अर्धचालक वैक्यूम भट्ठी अनुप्रयोगों में अपरिहार्य बनाते हैं, जो उन्नत अर्धचालक उपकरणों के कुशल और विश्वसनीय उत्पादन में योगदान देता है।