Fyysisessä höyrypinnoitusprosesseissa (PVD) upokkaita käytetään pitämään kiinteitä metalleja tai yhdisteitä, jotka sitten kuumennetaan haihtumis- tai sublimaatiopisteeseen. Tämä mahdollistaa höyrystyneen materiaalin tiivistymisen ohuena kalvona alustalle. Monet sulat materiaalit vaativat upokkaan vuorauksen, ja upokkaan todellinen latauskapasiteetti riippuu vuorauksen tilavuudesta.
Upokkaat ja niiden vuoraukset on valittava huolellisesti, jotta vältetään ei-toivotut kemialliset reaktiot korkeissa lämpötiloissa. Yhteensopimattomat upokasmateriaalit voivat syövyttää tai saastuttaa sulatteen, mikä voi heikentää tuotteen laatua.
Kriittinen ongelma korkean lämpötilan prosesseissa on lämpölaajenemisen epäsopivuus upokkaan ja sulan materiaalin välillä. Kuumennuksen aikana sulat materiaalit laajenevat tyypillisesti nopeammin kuin upokas, kohdistaen painetta seiniin ja mahdollisesti aiheuttaen halkeamia tai muodonmuutoksia. Vastaavasti jäähtymisen aikana voi syntyä jännitystä materiaalin supistuessa, varsinkin jos upokkaassa on liikaa jäännösmateriaalia.
Upokkaan täyttösuositukset
Upokkaan täyttöaste riippuu saostusmateriaalin tyypistä, ja se voi vaihdella merkittävästi sublimoituvien materiaalien, sulaneiden materiaalien ja kemiallisten yhdisteiden välillä.
Sublimointimateriaalit:Täytä upokas 90 % kapasiteettiin optimaalisen suorituskyvyn saavuttamiseksi. Vakioteho- tai lämpötilahaihdutuksessa höyryn jakautuminen ja nopeus muuttuvat materiaalia kulutettaessa, mutta sublimoituvissa materiaaleissa (esim. suolat) on yleensä vain vähän ongelmia.
Sulat materiaalit / ei-sublimoituvat materiaalit:Sublimoitumattomien materiaalien suositeltu täyttöaste on 75 % upokkaan kapasiteetista. Ylitäyttö voi aiheuttaa halkeamia, jotka johtuvat upokkaan ja materiaalien, kuten alumiinioksidin, välisestä lämpölaajenemiserosta uudelleen lämmitettäessä.
Kemialliset yhdisteet:Kemiallisilla yhdisteillä parhaat tulokset saavutetaan tyypillisesti, kun upokas on täytetty noin 50 %:iin ja materiaalin määrä vähenee noin 17 %:iin haihdutuksen aikana. Jos höyryn laatu (esim. dissosiaatio, höyryn lämpötila tai nopeus) on kriittinen, voidaan tarvita lisäsäätöjä haihtumisprosessin optimoimiseksi.
Ristikontaminaation välttämiseksi on suositeltavaa, että jokainen upokas on tarkoitettu yhden tyyppisen materiaalin lämmittämiseen. Vaikka jotkut orgaaniset yhdisteet voidaan poistaa perusteellisesti asianmukaisella puhdistuksella, toisia voi olla vaikeampi poistaa. Puhdistuksen onnistuminen riippuu tietystä orgaanisesta yhdisteestä ja polttolämpötilasta.
Vaihtoehtoisesti upokkaan lämmittäminen lämpötiloihin, jotka ylittävät selvästi orgaanisten materiaalien normaalin haihtumispisteen, voi mahdollistaa itsepuhdistumisen polttamalla jäännökset pois.
Räätälöityjä upokkaan muotoja, huokoskokoja, materiaaleja tai muita erikoisvaatimuksia varten ota yhteyttä räätälöityjä ratkaisuja varten.