Boorinitridi: välttämätön puolijohdetyhjiöuuneille

  Puolijohdeteollisuudessa boorinitridillä (BN) on ratkaiseva rooli tyhjiöuunisovelluksissa sen poikkeuksellisten ominaisuuksien vuoksi. Tyhjiöuunit ovat välttämättömiä erilaisissa puolijohteiden valmistusprosesseissa, mukaan lukien hehkutus, diffuusio ja kemiallinen höyrypinnoitus (CVD).
Boorinitridikomponentteja käytetään laajasti näissä tyhjiöuuneissa useista syistä:

• Stabiilisuus korkeissa lämpötiloissa: Boorinitridillä on erinomainen lämmönkestävyys ja se kestää jopa 2,000 XNUMX °C:n lämpötiloja inertissä ilmakehässä tai tyhjiöympäristössä, joten se soveltuu korkean lämpötilan puolijohdeprosesseihin.

• Kemiallinen inertisyys: Boorinitridi on kemiallisesti inertti ja kestää useimpia happoja, emäksiä ja liuottimia, mikä varmistaa yhteensopivuuden erilaisten puolijohdemateriaalien ja prosessikaasujen kanssa.

• Sähköeristys: Erinomaisilla sähköeristysominaisuuksilla varustettu boorinitridi estää oikosulkuja ja ylläpitää puolijohdelaitteiden sähköeristystä.

• Lämmönjohtavuus: Boorinitridillä on hyvä lämmönjohtavuus, mikä mahdollistaa tehokkaan lämmönsiirron ja tasaisen lämpötilan jakautumisen tyhjiöuunissa.

Puolijohdetyhjiöuuneissa käytettyjä yleisiä boorinitridikomponentteja ovat:

• Upokkaat ja säiliöt: Käytetään puolijohdekiekkojen tai -materiaalien säilyttämiseen korkean lämpötilan prosesseissa.

• Vuoraukset ja eristysmateriaalit: Suojaa uunin seinät ja säilytä halutut lämpötilaprofiilit.

• Kiinnikkeet ja pidikkeet: Sijoita ja tue puolijohdekiekkoja tai komponentteja käsittelyn aikana.

• Suojukset ja ohjauslevyt: Ohjaa kaasun virtausta ja ehkäise ristikontaminaatiota.

  Boorinitridin poikkeukselliset lämpö-, kemialliset ja sähköiset ominaisuudet tekevät siitä välttämättömän puolijohdetyhjiöuunisovelluksissa, mikä edistää edistyneiden puolijohdelaitteiden tehokasta ja luotettavaa tuotantoa.