نیترید بور: ضروری برای کوره های خلاء نیمه هادی

  در صنعت نیمه هادی، نیترید بور (BN) به دلیل خواص استثنایی خود، نقش مهمی در کاربردهای کوره خلاء ایفا می کند. کوره های خلاء برای فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی از جمله بازپخت، انتشار و رسوب بخار شیمیایی (CVD) ضروری هستند.
اجزای نیترید بور به دلایل مختلف به طور گسترده در این کوره های خلاء استفاده می شود:

• پایداری در دمای بالا: نیترید بور پایداری حرارتی بسیار خوبی از خود نشان می دهد و می تواند تا دمای 2,000 درجه سانتیگراد را در یک اتمسفر بی اثر یا محیط خلاء تحمل کند و آن را برای فرآیندهای نیمه هادی با دمای بالا مناسب می کند.

• بی اثری شیمیایی: نیترید بور از نظر شیمیایی بی اثر است و در برابر اکثر اسیدها، بازها و حلال ها مقاوم است و سازگاری با مواد نیمه هادی مختلف و گازهای فرآیندی را تضمین می کند.

• عایق الکتریکی: با خواص عایق الکتریکی عالی، نیترید بور از اتصال کوتاه جلوگیری می کند و عایق الکتریکی را در دستگاه های نیمه هادی حفظ می کند.

• هدایت حرارتی: نیترید بور دارای رسانایی حرارتی خوبی است، انتقال حرارت کارآمد و توزیع یکنواخت دما را در کوره خلاء تسهیل می کند.

اجزای متداول نیترید بور مورد استفاده در کوره های خلاء نیمه هادی عبارتند از:

• بوته ها و ظروف: برای نگهداری ویفرهای نیمه هادی یا مواد در فرآیندهای با دمای بالا استفاده می شود.

• آسترها و مواد عایق: از دیواره های کوره محافظت کنید و پروفیل های دمای دلخواه را حفظ کنید.

• فیکسچرها و نگهدارنده ها: ویفرها یا اجزای نیمه هادی را در حین پردازش قرار داده و پشتیبانی کنید.

• سپرها و بافل ها: جریان گاز را کنترل کرده و از آلودگی متقابل جلوگیری کنید.

  خواص استثنایی حرارتی، شیمیایی و الکتریکی نیترید بور آن را در کاربردهای کوره خلاء نیمه هادی ضروری می کند و به تولید کارآمد و قابل اعتماد دستگاه های نیمه هادی پیشرفته کمک می کند.