Νιτρίδιο βορίου: Απαραίτητο για φούρνους κενού ημιαγωγών

  Στη βιομηχανία ημιαγωγών, το νιτρίδιο του βορίου (BN) παίζει κρίσιμο ρόλο στις εφαρμογές κλιβάνων κενού λόγω των εξαιρετικών ιδιοτήτων του. Οι κλίβανοι κενού είναι απαραίτητες για διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της ανόπτησης, της διάχυσης και της εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD).
Τα συστατικά νιτριδίου του βορίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε αυτούς τους κλιβάνους κενού για διάφορους λόγους:

• Σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες: Το νιτρίδιο του βορίου παρουσιάζει εξαιρετική θερμική σταθερότητα και μπορεί να αντέξει θερμοκρασίες έως και 2,000°C σε αδρανή ατμόσφαιρα ή περιβάλλον κενού, καθιστώντας το κατάλληλο για διεργασίες ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας.

• Χημική αδράνεια: Το νιτρίδιο του βορίου είναι χημικά αδρανές και ανθεκτικό στα περισσότερα οξέα, βάσεις και διαλύτες, εξασφαλίζοντας συμβατότητα με διάφορα υλικά ημιαγωγών και αέρια διεργασίας.

• Ηλεκτρική μόνωση: Με εξαιρετικές ιδιότητες ηλεκτρικής μόνωσης, το νιτρίδιο του βορίου αποτρέπει τα βραχυκυκλώματα και διατηρεί την ηλεκτρική μόνωση σε συσκευές ημιαγωγών.

• Θερμική αγωγιμότητα: Το νιτρίδιο του βορίου έχει καλή θερμική αγωγιμότητα, διευκολύνοντας την αποτελεσματική μεταφορά θερμότητας και την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας μέσα στον κλίβανο κενού.

Τα κοινά συστατικά νιτριδίου του βορίου που χρησιμοποιούνται σε κλιβάνους κενού ημιαγωγών περιλαμβάνουν:

• Χωνευτήρια και δοχεία: Χρησιμοποιούνται για τη συγκράτηση πλακών ή υλικών ημιαγωγών κατά τη διάρκεια διεργασιών σε υψηλή θερμοκρασία.

• Επενδύσεις και μονωτικά υλικά: Προστατέψτε τους τοίχους του κλιβάνου και διατηρήστε τα επιθυμητά προφίλ θερμοκρασίας.

• Εξαρτήματα και βάσεις: Τοποθετήστε και στηρίξτε τις γκοφρέτες ή εξαρτήματα ημιαγωγών κατά την επεξεργασία.

• Ασπίδες και διαφράγματα: Ελέγξτε τη ροή αερίου και αποτρέψτε τη διασταυρούμενη μόλυνση.

  Οι εξαιρετικές θερμικές, χημικές και ηλεκτρικές ιδιότητες του νιτριδίου του βορίου το καθιστούν απαραίτητο σε εφαρμογές κλιβάνων κενού ημιαγωγών, συμβάλλοντας στην αποτελεσματική και αξιόπιστη παραγωγή προηγμένων συσκευών ημιαγωγών.