Bornitrid: Uundværlig til halvledervakuumovne

  I halvlederindustrien spiller bornitrid (BN) en afgørende rolle i vakuumovne på grund af dets exceptionelle egenskaber. Vakuumovne er afgørende for forskellige halvlederfremstillingsprocesser, herunder udglødning, diffusion og kemisk dampaflejring (CVD).
Bornitridkomponenter er meget udbredt i disse vakuumovne af flere årsager:

• Højtemperaturstabilitet: Bornitrid udviser fremragende termisk stabilitet og kan modstå temperaturer op til 2,000°C i en inert atmosfære eller vakuummiljø, hvilket gør det velegnet til højtemperaturhalvlederprocesser.

• Kemisk inerthed: Bornitrid er kemisk inert og modstandsdygtigt over for de fleste syrer, baser og opløsningsmidler, hvilket sikrer kompatibilitet med forskellige halvledermaterialer og procesgasser.

• Elektrisk isolering: Med fremragende elektrisk isoleringsegenskaber forhindrer bornitrid kortslutninger og opretholder elektrisk isolation i halvlederenheder.

• Termisk ledningsevne: Bornitrid har god varmeledningsevne, hvilket letter effektiv varmeoverførsel og ensartet temperaturfordeling i vakuumovnen.

Almindelige bornitridkomponenter, der anvendes i halvledervakuumovne, omfatter:

• Digler og beholdere: Bruges til at holde halvlederskiver eller materialer under højtemperaturprocesser.

• Foringer og isoleringsmaterialer: Beskyt ovnvægge og bibehold de ønskede temperaturprofiler.

• Inventar og holdere: Placer og understøt halvlederskiver eller komponenter under forarbejdning.

• Skjolde og ledeplader: Styr gasstrømmen og forhindre krydskontaminering.

  Bornitrids exceptionelle termiske, kemiske og elektriske egenskaber gør det uundværligt i halvledervakuumovne, hvilket bidrager til en effektiv og pålidelig produktion af avancerede halvlederenheder.