Nitrid boru: Nezbytný pro polovodičové vakuové pece

  V polovodičovém průmyslu hraje nitrid boru (BN) klíčovou roli v aplikacích vakuových pecí díky svým výjimečným vlastnostem. Vakuové pece jsou nezbytné pro různé procesy výroby polovodičů, včetně žíhání, difúze a chemické depozice z plynné fáze (CVD).
Komponenty nitridu boru se v těchto vakuových pecích široce používají z několika důvodů:

• Vysokoteplotní stabilita: Nitrid boru vykazuje vynikající tepelnou stabilitu a odolává teplotám až 2,000 XNUMX °C v inertní atmosféře nebo vakuovém prostředí, takže je vhodný pro vysokoteplotní polovodičové procesy.

• Chemická inertnost: Nitrid boru je chemicky inertní a odolný vůči většině kyselin, zásad a rozpouštědel, což zajišťuje kompatibilitu s různými polovodičovými materiály a procesními plyny.

• Elektrická izolace: Díky vynikajícím elektrickým izolačním vlastnostem zabraňuje nitrid boru zkratům a udržuje elektrickou izolaci v polovodičových součástkách.

• Tepelná vodivost: Nitrid boru má dobrou tepelnou vodivost, usnadňuje účinný přenos tepla a rovnoměrné rozložení teploty ve vakuové peci.

Mezi běžné komponenty nitridu boru používané v polovodičových vakuových pecích patří:

• Kelímky a nádoby: Používají se k držení polovodičových destiček nebo materiálů během vysokoteplotních procesů.

• Vložky a izolační materiály: Chraňte stěny pece a udržujte požadované teplotní profily.

• Přípravky a držáky: Umístěte a podepřete polovodičové destičky nebo součásti během zpracování.

• Štíty a přepážky: Kontrolujte průtok plynu a zabraňte křížové kontaminaci.

  Výjimečné tepelné, chemické a elektrické vlastnosti nitridu boru jej činí nepostradatelným v aplikacích polovodičových vakuových pecí, což přispívá k efektivní a spolehlivé výrobě pokročilých polovodičových součástek.