نيتريد البورون: ضروري لأفران فراغ أشباه الموصلات

  في صناعة أشباه الموصلات، يلعب نيتريد البورون (BN) دورًا حاسمًا في تطبيقات أفران التفريغ نظرًا لخصائصه الاستثنائية. تعتبر أفران التفريغ ضرورية لمختلف عمليات تصنيع أشباه الموصلات، بما في ذلك التلدين والانتشار وترسيب البخار الكيميائي (CVD).
تستخدم مكونات نيتريد البورون على نطاق واسع في هذه الأفران الفراغية لعدة أسباب:

• الاستقرار في درجات الحرارة العالية: يُظهر نيتريد البورون ثباتًا حراريًا ممتازًا ويمكنه تحمل درجات حرارة تصل إلى 2,000 درجة مئوية في جو خامل أو بيئة مفرغة، مما يجعله مناسبًا لعمليات أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية.

• الخمول الكيميائي: نيتريد البورون خامل كيميائيًا ومقاوم لمعظم الأحماض والقواعد والمذيبات، مما يضمن التوافق مع مختلف مواد أشباه الموصلات وغازات المعالجة.

• العزل الكهربائي: مع خصائص العزل الكهربائي الممتازة، يمنع نيتريد البورون حدوث دوائر قصيرة ويحافظ على العزل الكهربائي في الأجهزة شبه الموصلة.

• الموصلية الحرارية: تمتلك نيتريد البورون موصلية حرارية جيدة، مما يسهل نقل الحرارة بكفاءة وتوزيع موحد لدرجة الحرارة داخل الفرن الفراغي.

تشمل مكونات نيتريد البورون الشائعة المستخدمة في أفران التفريغ شبه الموصلة ما يلي:

• البوتقات والحاويات: تستخدم لحفظ رقائق أو مواد شبه موصلة أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية.

• البطانات والمواد العازلة: حماية جدران الفرن والحفاظ على درجة الحرارة المطلوبة.

• التركيبات والحوامل: وضع ودعم رقائق أو مكونات أشباه الموصلات أثناء المعالجة.

• الدروع والحواجز: التحكم في تدفق الغاز ومنع التلوث المتبادل.

  الخصائص الحرارية والكيميائية والكهربائية الاستثنائية لنتريد البورون تجعله لا غنى عنه في تطبيقات أفران التفريغ لأشباه الموصلات، مما يساهم في الإنتاج الفعال والموثوق لأجهزة أشباه الموصلات المتقدمة.