У процесах фізичного осадження з парової фази (PVD) тиглі використовуються для утримання твердих металів або сполук, які потім нагріваються до точки випаровування або сублімації. Це дозволяє випареному матеріалу конденсуватися у вигляді тонкої плівки на підкладці. Багато розплавлених матеріалів вимагають вкладиша тигля, і фактична ємність заряду тигля залежить від об’єму вкладиша.
Тиглі та їх вкладиші необхідно ретельно вибирати, щоб уникнути небажаних хімічних реакцій при високих температурах. Несумісні матеріали тигля можуть роз'їдати або забруднювати розплав, що може погіршити якість продукту.
Критичною проблемою у високотемпературних процесах є невідповідність теплового розширення між тиглем і розплавленим матеріалом. Під час нагрівання розплавлені матеріали зазвичай розширюються швидше, ніж тигель, чинячи тиск на стінки та потенційно призводячи до тріщин або деформації. Подібним чином під час охолодження може виникнути напруга, коли матеріал стискається, особливо якщо в тиглі є надмірна кількість залишкового матеріалу.
Рекомендації щодо наповнення тигля
Ступінь заповнення тигля залежить від типу матеріалу для осадження, і він може значно відрізнятися між сублімованими матеріалами, розплавленими матеріалами та хімічними сполуками.
Сублімаційні матеріали:Заповніть тигель на 90% для оптимальної роботи. При випаровуванні постійної потужності або температури розподіл пари та швидкість змінюються в міру споживання матеріалу, але сублімовані матеріали (наприклад, солі) зазвичай мають мінімальні проблеми.
Розплавлені матеріали/несублімовані матеріали:Рекомендований рівень заповнення для несублімованих матеріалів становить 75% ємності тигля. Переповнення може призвести до тріщин через різницю в тепловому розширенні між тиглем і такими матеріалами, як оксид алюмінію, під час повторного нагрівання.
Хімічні сполуки:Для хімічних сполук найкращі результати зазвичай досягаються, коли тигель заповнений приблизно на 50%, при цьому кількість матеріалу зменшується приблизно до 17% під час випаровування. Якщо якість пари (наприклад, дисоціація, температура пари або швидкість) є критичною, можуть знадобитися подальші коригування для оптимізації процесу випаровування.
Щоб уникнути перехресного забруднення, рекомендується, щоб кожен тигель був призначений для нагрівання одного типу матеріалу. У той час як деякі органічні сполуки можна ретельно видалити за допомогою належного очищення, інші може бути важче усунути. Успіх очищення залежить від конкретної органічної сполуки та температури випалу.
Крім того, нагрівання тигля до температур, що значно перевищують нормальну температуру випаровування органічних матеріалів, може забезпечити самоочищення шляхом спалювання залишків.
Зв’яжіться з нами, щоб отримати індивідуальні рішення щодо спеціальної форми тигля, розміру пор, матеріалів або інших спеціальних вимог.