Barcos de evaporação baseados em TiB₂-BN para deposição de filmes finos de precisão

Cadinhos de evaporação feitos de compósitos de TiB₂-BN apresentam condutividade elétrica devido à integração de nitreto de boro em alta temperatura. Esses cadinhos em forma de cadinho são componentes essenciais para a vaporização de metais ou outros materiais a partir do estado fundido por meio de aquecimento resistivo preciso em altas temperaturas. São amplamente utilizados em processos de deposição física de vapor (PVD). A alta densidade e a baixa porosidade do material contribuem para excelente condutividade térmica, resistência ao choque térmico e resistência à corrosão.

Método de aquecimento e temperatura de operação

O barco de evaporação é conectado a uma fonte de energia em ambas as extremidades e é aquecido resistivamente a uma faixa de temperatura de 1600–1700 °C. Isso permite que as partículas metálicas ou fios carregados em seu interior vaporizem a partir de seu estado fundido, possibilitando aplicações de deposição de filmes finos de alta precisão.

Principais vantagens de desempenho dos barcos de evaporação de nitreto de boro condutivos:

• Aquecimento preciso e controle resistivo
  O compósito TiB₂-BN oferece resistividade controlável, permitindo aquecimento elétrico preciso com distribuição uniforme de energia térmica. Isso garante taxas de evaporação estáveis ​​e precisas.
• Boa molhabilidade e resistência à corrosão
  O material demonstra excelente comportamento de molhabilidade e resistência à corrosão, minimizando efetivamente respingos durante o aquecimento e reduzindo o consumo de energia.
• Baixa Porosidade
  Uma estrutura de baixa porosidade ajuda a reduzir os riscos de liberação de gás e contaminação em condições de vácuo de alta temperatura, ao mesmo tempo em que aumenta a resistência à corrosão e a estabilidade térmica.
• Dense Microstructure
  A alta densidade do material garante uma transferência de calor rápida e uniforme durante as fases iniciais de aquecimento e retenção, melhorando a precisão do controle de temperatura.
• Alta condutividade térmica
  Adequado para ciclos rápidos de aquecimento e resfriamento, garantindo distribuição uniforme de temperatura em todo o recipiente de evaporação.
• Excelente resistência ao choque térmico
  Capaz de suportar ciclos térmicos frequentes sem rachar, o que o torna adequado para ambientes exigentes de alta temperatura.
• Estabilidade em alta temperatura
  A estrutura estável do material em temperaturas elevadas contribui para uma vida útil mais longa.
• Resistência à corrosão
  Estrutura densa e baixa porosidade impedem a penetração de gases e impurezas no material em altas temperaturas.
• Comportamento de molhamento uniforme
  Minimiza respingos durante o processo de aquecimento, melhorando a estabilidade do processo e a eficiência da produção.
• Facilidade de operação
  O material e o design permitem fácil manuseio e integração em sistemas de processamento automatizados.

Propriedade dos barcos de evaporação

Fornecedor de barcos de evaporação BN da China

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