Em processos de Deposição Física de Vapor (PVD), cadinhos são empregados para reter metais sólidos ou compostos, que são então aquecidos até o ponto de evaporação ou sublimação. Isso permite que o material vaporizado se condense como uma película fina no substrato. Muitos materiais fundidos requerem um revestimento de cadinho, e a capacidade de carga real do cadinho depende do volume do revestimento.
Os cadinhos e seus revestimentos devem ser escolhidos cuidadosamente para evitar reações químicas indesejadas em altas temperaturas. Materiais de cadinhos incompatíveis podem corroer ou contaminar o fundido, o que pode comprometer a qualidade do produto.
Um problema crítico em processos de alta temperatura é a incompatibilidade de expansão térmica entre o cadinho e o material fundido. Durante o aquecimento, os materiais fundidos normalmente se expandem mais rapidamente do que o cadinho, exercendo pressão nas paredes e potencialmente levando a rachaduras ou deformações. Da mesma forma, durante o resfriamento, o estresse pode se desenvolver à medida que o material se contrai, especialmente se houver uma quantidade excessiva de material residual no cadinho.
Recomendações para enchimento do cadinho
O grau de enchimento de um cadinho depende do tipo de material de deposição e pode variar significativamente entre materiais de sublimação, materiais fundidos e compostos químicos.
Materiais para sublimação:Encha o cadinho até 90% da capacidade para desempenho ideal. Na evaporação de potência ou temperatura constante, a distribuição de vapor e a taxa mudam conforme o material é consumido, mas materiais de sublimação (por exemplo, sais) geralmente apresentam problemas mínimos.
Materiais fundidos/materiais não sublimáveis:O nível de enchimento recomendado para materiais não sublimáveis é de 75% da capacidade do cadinho. O enchimento excessivo pode levar a rachaduras devido à diferença na expansão térmica entre o cadinho e materiais como óxido de alumínio quando reaquecido.
Compostos químicos:Para compostos químicos, os melhores resultados são tipicamente alcançados quando o cadinho é preenchido até cerca de 50%, com o material reduzindo para cerca de 17% durante a evaporação. Se a qualidade do vapor (por exemplo, dissociação, temperatura do vapor ou taxa) for crítica, ajustes adicionais podem ser necessários para otimizar o processo de evaporação.
Para evitar contaminação cruzada, é recomendado que cada cadinho seja dedicado ao aquecimento de um único tipo de material. Enquanto alguns compostos orgânicos podem ser completamente removidos com limpeza adequada, outros podem ser mais difíceis de eliminar. O sucesso da limpeza depende do composto orgânico específico e da temperatura de queima.
Alternativamente, aquecer o cadinho a temperaturas bem acima do ponto normal de evaporação dos materiais orgânicos pode permitir a autolimpeza por meio da queima de resíduos.
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