Co to jest tygiel PVD do odparowywania próżniowego?

Odparowywanie próżniowe jest jedną z najwcześniejszych metod stosowanych w fizycznym osadzaniu z fazy gazowej (PVD). Typowe techniki obejmują odparowanie termiczne, odparowanie wiązką elektronów, napylanie i odparowanie łukowe. Wśród nich parowanie termiczne polega na podgrzewaniu materiału źródłowego pod wysoką próżnią, aż do jego odparowania. Urządzenie grzewcze, znane jako źródło parowania, utrzymuje materiał powłoki wewnątrz tygla. Gdy tygiel jest podgrzewany, materiał albo odparowuje z fazy ciekłej, albo sublimuje bezpośrednio ze stanu stałego, a powstała para skrapla się na powierzchni podłoża, tworząc cienką warstwę. Metody ogrzewania zazwyczaj obejmują ogrzewanie rezystancyjne i ogrzewanie indukcyjne o wysokiej częstotliwości.

Rola i konstrukcja tygli wyparnych

An evaporation crucible is a key component in thermal evaporation processes. It is used to hold the material during heating and vaporization. These crucibles are typically shaped like bowls or cylinders, though custom shapes are also available. Alumina (Al₂O₃) is commonly used due to its high melting point, thermal stability, and resistance to chemical corrosion, making it suitable for many high-temperature deposition applications.

Tygle do odparowywania są niezbędne w procesach takich jak osadzanie cienkich warstw, osadzanie próżniowe i powlekanie PVD, służąc jako pojemniki wysokotemperaturowe, które utrzymują materiał źródłowy i pomagają utrzymać czystość osadzonej warstwy.

Wykładziny tyglowe: Kiedy i dlaczego ich używać

Evaporation crucibles can be either with or without Crucible liners, depending on the application. A liner is a small container placed inside the crucible to isolate the source material from the crucible wall. It helps prevent reactions, corrosion, or mechanical damage caused by molten material or thermal stress during cooling.

Powszechnie stosowane materiały okładzin obejmują molibden (Mo), tantal (Ta), wolfram (W), nikiel (Ni) i pirolityczny azotek boru (PBN).

For example, an Al₂O₃ crucible with a PBN liner is suitable for aluminum evaporation at temperatures up to 1300°C.

Materiały, które mogą być odparowywane bezpośrednio w tyglach z tlenku glinu

Niektóre materiały nie wymagają stosowania wykładzin w tyglach ceramicznych o wysokiej zawartości tlenku glinu, ponieważ nie ulegają one stopieniu ani reakcji z tyglem w temperaturach roboczych. Przykłady obejmują:

• Chrom (Cr): Sublimuje w temperaturze około 1650°C, omijając fazę ciekłą, co minimalizuje ryzyko uszkodzenia tygla.

• Złoto (Au): Może być odparowywany bezpośrednio w tyglu z czystego tlenku glinu w temperaturze 1550-1600°C.

• Bor (B): Działa w wysokich temperaturach, ale może powodować korozję tygla powyżej 1600°C, dlatego należy zachować ostrożność.

• Kobalt (Co): Paruje w temperaturze około 1640°C i może być używany bez wkładki.

• Żelazo (Fe): Może wchodzić w reakcję z metalowymi wkładkami, co sprawia, że tlenek glinu jest lepszą opcją. Zalecana temperatura: 1550-1600°C.

German (Ge): Wrażliwy na gwałtowne zmiany temperatury. Zaleca się kontrolowaną szybkość ogrzewania/chłodzenia i stabilną temperaturę około 1500°C.

WEIERT CERAMICS - Wiodący producent tygli ceramicznych z tlenku glinu o wysokiej czystości w Chinach.

Jako firma specjalizująca się w materiałach ceramicznych o wysokiej zawartości tlenku glinu, WEIERT CERAMICS zdobyła bogate doświadczenie w produkcji i przetwarzaniu wysokowydajnych tygli ceramicznych. Dzięki zaawansowanym procesom produkcyjnym i stale optymalizowanym przepływom pracy jesteśmy w stanie skutecznie kontrolować koszty produkcji przy jednoczesnym utrzymaniu stałych dostaw tygli Al2O3 o wysokiej czystości. Nasze produkty nie tylko spełniają wysokie standardy jakości, ale także znacząco poprawiają rentowność naszych klientów.

Nasze tygle są szeroko stosowane w powlekaniu próżniowym, procesach PVD, osadzaniu cienkich warstw i innych zaawansowanych zastosowaniach, z kilkoma wyspecjalizowanymi typami, w tym tyglami PVD, tyglami do odparowywania, tyglami do osadzania próżniowego i tyglami do osadzania cienkich warstw. Wszystkie nasze produkty charakteryzują się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, co czyni je idealnymi rozwiązaniami do zastosowań w tyglach wysokotemperaturowych.

Ponadto oferujemy niestandardowe tygle dostosowane do konkretnych wymagań, z precyzyjnym dostosowaniem pod względem rozmiaru, struktury i kompatybilności. Wybór WEIERT CERAMICS oznacza współpracę z niezawodnym, opłacalnym dostawcą rozwiązań.