정밀 박막 증착을 위한 TiB₂-BN 기반 증발 보트

TiB₂-BN 복합재로 제작된 증발 보트는 고온 질화붕소를 첨가하여 전기 전도성을 나타냅니다. 이 보트 모양의 도가니는 고온에서 정밀한 저항 가열을 통해 용융 상태의 금속이나 기타 재료를 기화시키는 핵심 부품입니다. 이 제품은 물리 기상 증착(PVD) 공정에 널리 사용됩니다. 이 소재의 높은 밀도와 낮은 기공률은 뛰어난 열전도도, 열충격 저항성, 그리고 내식성을 제공합니다.

가열 방식 및 작동 온도

증발 보트는 양쪽 끝이 전원에 연결되어 있으며, 1600~1700°C의 온도 범위로 저항 가열됩니다. 이를 통해 내부에 적재된 금속 입자나 와이어가 용융 상태에서 기화되어 고정밀 박막 증착 응용 분야에 적합합니다.

전도성 질화붕소 증발 보트의 주요 성능 이점:

• 정밀 가열 및 저항 제어
  TiB₂-BN 복합재는 제어 가능한 저항률을 제공하여 균일한 열 전력 분포로 정확한 전기 가열을 가능하게 합니다. 이를 통해 안정적이고 정밀한 증발 속도가 보장됩니다.
• 우수한 젖음성 및 내식성
  해당 소재는 뛰어난 습윤성과 내식성을 보여주며, 가열 시 튀김 현상을 최소화하고 에너지 소비를 줄여줍니다.
• 낮은 다공성
  낮은 기공률 구조는 고온 진공 조건에서 가스 방출 및 오염 위험을 줄이는 동시에 내식성과 열 안정성을 향상시킵니다.
• Dense Microstructure
  높은 재료 밀도는 초기 가열 및 유지 단계에서 빠르고 균일한 열 전달을 보장하여 온도 제어 정확도를 향상시킵니다.
• 높은 열전도도
  빠른 가열 및 냉각 사이클에 적합하며 증발 보트 전체에 걸쳐 균일한 온도 분포를 보장합니다.
• 우수한 열충격 저항성
  균열 없이 잦은 열 사이클을 견딜 수 있어 까다로운 고온 환경에 적합합니다.
• 고온 안정성
  고온에서도 재료의 구조가 안정적이어서 사용 수명이 길어집니다.
• 내식성
  밀도가 높은 구조와 낮은 기공률은 고온에서 가스와 불순물이 재료 내부로 침투하는 것을 방지합니다.
• 균일한 습윤 거동
  가열 과정에서 발생하는 튀김 현상을 최소화하여 공정 안정성과 생산 효율성을 향상시킵니다.
• 사용의 용이성
  소재와 디자인 덕분에 취급이 쉽고 자동화 처리 시스템에 통합하기 쉽습니다.

증발 보트의 속성

중국 BN 증발보트 공급업체

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