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PBNるつぼ

pBN るつぼは、ガリウムヒ素 (GaAs) やインジウムリン (InP) などの単結晶半導体材料の成長と準備に広く使用されているだけでなく、OLED 製造ラインの蒸発源の主な容器としても使用されています。

当社は熱分解窒化ホウ素(PBN)るつぼを提供しています。これらの高純度(99.9%)PBNるつぼは、ストレートウォール型とフランジ型の両方をご用意しています。


PBNセラミック材料の特性

プロパティ単位価値
純度%99.99
金属不純物ppm<10
粒度nma: 2.504 × 10⁻¹⁰
c: 6.692 × 10⁻¹⁰
結晶密度g/cm³2.07 - 2.19
ヘリウム透過性Pa.m3/s           1×10-10
微小硬度N/mm²691.88
体積抵抗率Ω·m3.11×1011
抗張力N/mm2 145.6
曲げ強度N/mm2151.5
弾性係数GP40
熱伝導率W/m-Ka方向: 60
C方向: 2.6
絶縁耐力(@ 25℃)KV/mm 
誘電率 "c" 3.07
比熱J/g·℃0.90(RT)

PBNるつぼとライナーの主な特徴
1. 優れた熱伝導性と耐熱衝撃性

2. お手入れが簡単で繰り返し使用できます

3. 化学的不活性が高く、高温でも酸や塩基と反応しない

4. 溶融金属に対して濡れ性がない

5. 制御可能な熱伝導率

6. お手入れが簡単で再利用可能


安全な操作と機器の寿命延長のため、PBNの使用温度は1300℃以下に制限し、660℃未満では毎分25℃未満の冷却速度で冷却することを推奨します。るつぼは使用のたびに点検し、ひび割れの兆候が見られた場合は直ちに交換してください。

製品紹介

コンタカットUS