pBN るつぼは、ガリウムヒ素 (GaAs) やインジウムリン (InP) などの単結晶半導体材料の成長と準備に広く使用されているだけでなく、OLED 製造ラインの蒸発源の主な容器としても使用されています。
当社は熱分解窒化ホウ素(PBN)るつぼを提供しています。これらの高純度(99.9%)PBNるつぼは、ストレートウォール型とフランジ型の両方をご用意しています。
PBNセラミック材料の特性
プロパティ | 単位 | 価値 |
純度 | % | 99.99 |
金属不純物 | ppm | <10 |
粒度 | nm | a: 2.504 × 10⁻¹⁰ |
c: 6.692 × 10⁻¹⁰ | ||
結晶密度 | g/cm³ | 2.07 - 2.19 |
ヘリウム透過性 | Pa.m3/s | 1×10-10 |
微小硬度 | N/mm² | 691.88 |
体積抵抗率 | Ω·m | 3.11×1011 |
抗張力 | N/mm2 | 145.6 |
曲げ強度 | N/mm2 | 151.5 |
弾性係数 | GP | 40 |
熱伝導率 | W/m-K | a方向: 60 |
C方向: 2.6 | ||
絶縁耐力(@ 25℃) | KV/mm | |
誘電率 | "c" 3.07 | |
比熱 | J/g·℃ | 0.90(RT) |
PBNるつぼとライナーの主な特徴
1. 優れた熱伝導性と耐熱衝撃性
2. お手入れが簡単で繰り返し使用できます
3. 化学的不活性が高く、高温でも酸や塩基と反応しない
4. 溶融金属に対して濡れ性がない
5. 制御可能な熱伝導率
6. お手入れが簡単で再利用可能
安全な操作と機器の寿命延長のため、PBNの使用温度は1300℃以下に制限し、660℃未満では毎分25℃未満の冷却速度で冷却することを推奨します。るつぼは使用のたびに点検し、ひび割れの兆候が見られた場合は直ちに交換してください。