精密薄膜堆積用TiB₂-BNベース蒸着ボート

TiB₂-BN複合材料製の蒸発ボートは、高温窒化ホウ素を組み込むことで導電性を発揮します。このボート型のるつぼは、高温での精密な抵抗加熱により、溶融状態の金属やその他の材料を蒸発させるための重要な部品です。物理蒸着（PVD）プロセスで広く使用されています。この材料は高密度で低多孔性であるため、優れた熱伝導性、耐熱衝撃性、耐腐食性を備えています。

加熱方法と動作温度

蒸発ボートは両端に電源が接続されており、抵抗加熱によって1600～1700℃の温度範囲に加熱されます。これにより、内部に充填された金属粒子またはワイヤが溶融状態から蒸発し、高精度の薄膜堆積アプリケーションをサポートします。

導電性窒化ホウ素蒸着ボートの主な性能上の利点：

• 精密加熱と抵抗制御
  TiB₂-BN複合材料は抵抗率を制御できるため、均一な熱出力分布による正確な電気加熱が可能になり、安定した高精度の蒸発速度を実現します。
• 優れた濡れ性と耐腐食性
  この材料は優れた濡れ性と耐腐食性を示し、加熱時の飛散を効果的に最小限に抑え、エネルギー消費を削減します。
• 低多孔性
  低多孔性構造により、高温真空条件下でのガス放出と汚染のリスクが低減され、耐腐食性と熱安定性が向上します。
• Dense Microstructure
  材料の密度が高いため、初期の加熱および保持段階で迅速かつ均一な熱伝達が保証され、温度制御の精度が向上します。
• 高い熱伝導性
  急速加熱・冷却サイクルに適しており、蒸発ボート全体の温度分布が均一になります。
• 優れた耐熱衝撃性
  ひび割れなく頻繁な熱サイクルに耐えることができるため、要求の厳しい高温環境に適しています。
• 高温安定性
  高温でも安定した材料構造により、耐用年数が長くなります。
• 耐食性
  緻密な構造と低い多孔性により、高温でもガスや不純物が材料に浸透するのを防ぎます。
• 均一な濡れ挙動
  加熱工程中の飛び散りを最小限に抑え、工程の安定性と生産効率を向上させます。
• 操作の容易さ
  材質と設計により、取り扱いが容易になり、自動処理システムへの統合も容易になります。

蒸発船の特性

中国のBN蒸発ボートサプライヤー

幅広いサイズを取り揃えており、標準的なBNるつぼだけでなく、お客様のご要望に合わせたカスタムメイドの部品もご用意しております。蒸発ボートやるつぼにご興味をお持ちでしたら、お気軽に図面をお送りください。すぐにお見積もりをお送りいたします。

先端セラミックスの専門サプライヤーとして、窒化ホウ素ノズル、窒化ホウ素加工サービス、そして加工可能な窒化ホウ素セラミック部品も提供しています。包括的なBNソリューションの詳細については、今すぐお問い合わせください。