真空蒸着用PVDるつぼとは？

真空蒸着は、物理的気相成長法（PVD）で最も古くから使用されている手法のひとつである。一般的な手法には、熱蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタリング、アーク蒸着などがある。このうち、熱蒸発法では、原料を高真空下で気化するまで加熱する。蒸発源と呼ばれる加熱装置は、コーティング材料をるつぼ内に保持する。るつぼが加熱されると、材料は液相から蒸発するか、固体状態から直接昇華し、その結果生じた蒸気が基材表面で凝縮して薄膜を形成する。加熱方法には通常、抵抗加熱と高周波誘導加熱がある。

蒸発るつぼの役割と設計

蒸発るつぼは、熱蒸着プロセスにおける重要な部品です。加熱および気化中に材料を保持するために使用されます。これらのるつぼは通常、ボウル型または円筒型ですが、カスタム形状も利用可能です。アルミナ（Al₂O₃）は、高い融点、熱安定性、耐化学腐食性を備えているため、一般的に使用され、多くの高温蒸着アプリケーションに適しています。

蒸着るつぼは、薄膜蒸着、真空蒸着、PVDコーティングなどのプロセスで不可欠なもので、原料を保持し、蒸着層の純度を維持するための高温容器として機能します。

るつぼライナー：いつ、なぜ使うのか

蒸発るつぼは、用途に応じて、るつぼライナーの有無を選択できます。ライナーとは、るつぼ内に配置され、原料をるつぼ壁から隔離する小さな容器です。ライナーは、溶融材料や冷却時の熱応力によって引き起こされる反応、腐食、または機械的損傷を防ぐのに役立ちます。

一般的なライナー材料には、モリブデン（Mo）、タンタル（Ta）、タングステン（W）、ニッケル（Ni）、熱分解窒化ホウ素（PBN）などがある。

たとえば、PBN ライナー付きの Al₂O₃ るつぼは、最高 1300°C の温度でのアルミニウム蒸発に適しています。

アルミナるつぼで直接蒸発できる材料

高アルミナセラミックるつぼで使用する場合、作業温度で溶融したり、るつぼと反応したりしないため、ライナーを必要としない材料もあります。その例には以下が含まれます：

• クロム（Cr）:液相をバイパスして約1650℃で昇華するため、るつぼの損傷リスクを最小限に抑えることができる。

• 金（Au）:純アルミナるつぼ中で1550～1600℃で直接蒸発させることができる。

• ホウ素（B）:高温で機能するが、1600℃を超えるとるつぼを腐食する可能性があるので注意が必要。

• コバルト:約1640℃で気化し、ライナーなしで使用できる。

• 鉄（Fe）:金属ライナーと反応する可能性があるため、アルミナの方がよい。推奨温度：1550-1600°C.

ゲルマニウム (Ge):急激な温度変化に弱い。加熱／冷却速度をコントロールし、1500℃前後で安定させることが推奨される。

WEIERT CERAMICS - 中国の高純度アルミナセラミックるつぼの大手メーカー。

高アルミナセラミック材料の専門企業として、WEIERT CERAMICS は、高性能セラミックるつぼの製造および加工において豊富な経験を築いてきました。高度な製造工程と継続的に最適化されたワークフローにより、高純度 Al2O3 るつぼの安定供給を維持しながら、製造コストを効率的に管理することができます。当社の製品は、高品質の基準を満たすだけでなく、お客様の収益性を大幅に改善します。

当社のるつぼは、真空コーティング、PVDプロセス、薄膜蒸着、およびその他の高度な用途で広く使用されており、PVDるつぼ、蒸着るつぼ、真空蒸着るつぼ、薄膜蒸着るつぼなど、いくつかの特殊なタイプがあります。当社の製品はすべて優れた耐高温性を特徴としており、高温るつぼ用途の理想的なソリューションとなっています。

さらに、サイズ、構造、および適合性の面で精密な調整を行い、お客様の特定の要件に合わせてカスタマイズされたるつぼを提供します。 WEIERT CERAMICSを選択することは、信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションプロバイダーと提携することを意味します。