In Physical Vapor Deposition (PVD) processes, crucibles are employed to hold solid metals or compounds, which are then heated to the point of evaporation or sublimation. This allows the vaporized material to condense as a thin film on the substrate. Many molten materials require a crucible liner, and the actual charge capacity of the crucible depends on the volume of liner.
I crogioli e i loro rivestimenti devono essere scelti con cura per evitare reazioni chimiche indesiderate ad alte temperature. Materiali incompatibili del crogiolo possono corrodere o contaminare la fusione, il che può compromettere la qualità del prodotto.
Un problema critico nei processi ad alta temperatura è la discrepanza di espansione termica tra il crogiolo e il materiale fuso. Durante il riscaldamento, i materiali fusi si espandono in genere più rapidamente del crogiolo, esercitando pressione sulle pareti e potenzialmente causando crepe o deformazioni. Analogamente, durante il raffreddamento, può svilupparsi stress mentre il materiale si contrae, soprattutto se c'è una quantità eccessiva di materiale residuo nel crogiolo.
Raccomandazioni per il riempimento del crogiolo
Il grado di riempimento di un crogiolo dipende dal tipo di materiale di deposizione e può variare notevolmente tra materiali sublimatici, materiali fusi e composti chimici.
Materiali sublimatici:Riempire il crogiolo al 90% della capacità per prestazioni ottimali. Nell'evaporazione a potenza o temperatura costante, la distribuzione e la velocità del vapore cambiano man mano che il materiale viene consumato, ma i materiali sublimati (ad esempio, i sali) solitamente presentano problemi minimi.
Materiali fusi/materiali non sublimativi:Il livello di riempimento consigliato per i materiali non sublimativi è il 75% della capacità del crogiolo. Un riempimento eccessivo può causare crepe dovute alla differenza di dilatazione termica tra il crogiolo e materiali come l'ossido di alluminio quando riscaldati.
Composti chimici:Per i composti chimici, i risultati migliori si ottengono solitamente quando il crogiolo è riempito fino a circa il 50%, con il materiale che si riduce a circa il 17% durante l'evaporazione. Se la qualità del vapore (ad esempio, dissociazione, temperatura del vapore o velocità) è critica, potrebbero essere necessarie ulteriori regolazioni per ottimizzare il processo di evaporazione.
Per evitare la contaminazione incrociata, si raccomanda che ogni crogiolo sia dedicato al riscaldamento di un singolo tipo di materiale. Mentre alcuni composti organici possono essere completamente rimossi con una pulizia adeguata, altri potrebbero essere più difficili da eliminare. Il successo della pulizia dipende dal composto organico specifico e dalla temperatura di cottura.
In alternativa, riscaldando il crogiolo a temperature ben al di sopra del normale punto di evaporazione dei materiali organici, è possibile ottenere l'autopulizia bruciando i residui.
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