Nacelles d'évaporation à base de TiB₂-BN pour le dépôt de couches minces de précision

Les nacelles d'évaporation en composites TiB₂-BN présentent une conductivité électrique grâce à l'intégration de nitrure de bore haute température. Ces creusets en forme de nacelles sont des composants essentiels pour la vaporisation de métaux ou d'autres matériaux à partir de l'état fondu par chauffage résistif précis à haute température. Ils sont largement utilisés dans les procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD). La densité élevée et la faible porosité du matériau contribuent à une excellente conductivité thermique, une résistance aux chocs thermiques et une résistance à la corrosion.

Méthode de chauffage et température de fonctionnement

La nacelle d'évaporation est connectée à une source d'alimentation à ses deux extrémités et chauffée par résistance à une température comprise entre 1 600 et 1 700 °C. Cela permet aux particules ou fils métalliques chargés à l'intérieur de se vaporiser à partir de leur état fondu, permettant ainsi des applications de dépôt de couches minces de haute précision.

Principaux avantages en termes de performances des nacelles d'évaporation conductrices en nitrure de bore :

• Chauffage précis et contrôle résistif
  Le composite TiB₂-BN offre une résistivité contrôlable, permettant un chauffage électrique précis avec une répartition uniforme de la puissance thermique. Cela garantit des taux d'évaporation stables et précis.
• Bonne mouillabilité et résistance à la corrosion
  Le matériau présente un excellent comportement de mouillage et une excellente résistance à la corrosion, minimisant efficacement les éclaboussures pendant le chauffage et réduisant la consommation d'énergie.
• Faible porosité
  A low-porosity structure helps reduce gas release and contamination risks under high-temperature vacuum conditions, while enhancing corrosion resistance and thermal stability.
• Dense Microstructure
  La densité élevée du matériau assure un transfert de chaleur rapide et uniforme pendant les phases initiales de chauffage et de maintien, améliorant ainsi la précision du contrôle de la température.
• conductivité thermique élevée
  Idéal pour les cycles de chauffage et de refroidissement rapides, garantissant une répartition uniforme de la température dans le bateau d'évaporation.
• Excellente résistance aux chocs thermiques
  Capable de résister à des cycles thermiques fréquents sans se fissurer, ce qui le rend adapté aux environnements exigeants à haute température.
• Stabilité à haute température
  La structure stable du matériau à des températures élevées contribue à une durée de vie plus longue.
• Résistance à la corrosion
  La structure dense et la faible porosité empêchent la pénétration de gaz et d'impuretés dans le matériau à haute température.
• Comportement de mouillage uniforme
  Minimise les éclaboussures pendant le processus de chauffage, améliorant ainsi la stabilité du processus et l'efficacité de la production.
• Facilité d'utilisation
  Le matériau et la conception permettent une manipulation et une intégration faciles dans les systèmes de traitement automatisés.

Propriété des bateaux d'évaporation

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