Botes de evaporación basados en TiB₂-BN para el depósito de precisión de películas finas

Las barquillas de evaporación fabricadas con compuestos de TiB₂-BN presentan conductividad eléctrica gracias a la integración de nitruro de boro de alta temperatura. Estos crisoles en forma de barca son componentes clave para vaporizar metales u otros materiales a partir del estado fundido mediante un calentamiento resistivo preciso a altas temperaturas. Se utilizan mucho en procesos de deposición física de vapor (PVD). La alta densidad y baja porosidad del material contribuyen a una excelente conductividad térmica, resistencia al choque térmico y resistencia a la corrosión.

Método de calentamiento y temperatura de funcionamiento

La barca de evaporación está conectada a una fuente de alimentación en ambos extremos y se calienta por resistencia a una temperatura de 1600-1700°C. Esto permite que las partículas metálicas o los alambres cargados en su interior se vaporicen a partir de su estado fundido, lo que admite aplicaciones de deposición de película fina de alta precisión.

Principales ventajas de rendimiento de las barcas de evaporación de nitruro de boro conductor:

• Calentamiento preciso y control resistivo
  El compuesto TiB₂-BN ofrece una resistividad controlable, lo que permite un calentamiento eléctrico preciso con una distribución uniforme de la potencia térmica. Esto garantiza tasas de evaporación estables y precisas.
• Buena humectabilidad y resistencia a la corrosión
  El material demuestra un excelente comportamiento de humectación y resistencia a la corrosión, minimizando eficazmente las salpicaduras durante el calentamiento y reduciendo el consumo de energía.
• Baja porosidad
  Una estructura de baja porosidad ayuda a reducir la liberación de gases y los riesgos de contaminación en condiciones de vacío a alta temperatura, al tiempo que mejora la resistencia a la corrosión y la estabilidad térmica.
• Microestructura densa
  La alta densidad del material garantiza una transferencia de calor rápida y uniforme durante las fases iniciales de calentamiento y mantenimiento, lo que mejora la precisión del control de la temperatura.
• Alta conductividad térmica
  Adecuado para ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento, garantizando una distribución uniforme de la temperatura en toda la barca de evaporación.
• Excelente resistencia al choque térmico
  Capaz de soportar frecuentes ciclos térmicos sin agrietarse, lo que la hace adecuada para entornos exigentes de altas temperaturas.
• Estabilidad a altas temperaturas
  La estructura estable del material a temperaturas elevadas contribuye a prolongar su vida útil.
• Resistencia a la corrosión
  La estructura densa y la baja porosidad impiden la penetración de gases e impurezas en el material a altas temperaturas.
• Comportamiento humectante uniforme
  Minimiza las salpicaduras durante el proceso de calentamiento, mejorando la estabilidad del proceso y la eficacia de la producción.
• Facilidad de manejo
  El material y el diseño permiten una fácil manipulación e integración en sistemas de procesamiento automatizados.

Propiedad de los botes de evaporación

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