En los procesos de deposición física en fase de vapor (PVD), se utilizan crisoles para contener metales o compuestos sólidos, que luego se calientan hasta el punto de evaporación o sublimación. Esto permite que el material vaporizado se condense como una película fina sobre el sustrato. Muchos materiales fundidos requieren un revestimiento de crisol, y la capacidad de carga real del crisol depende del volumen del revestimiento.
Los crisoles y sus revestimientos deben elegirse con cuidado para evitar reacciones químicas no deseadas a altas temperaturas. Los materiales incompatibles del crisol pueden corroer o contaminar la masa fundida, lo que puede comprometer la calidad del producto.
Un problema crítico en los procesos de alta temperatura es el desajuste de la expansión térmica entre el crisol y el material fundido. Durante el calentamiento, los materiales fundidos suelen expandirse más rápidamente que el crisol, lo que ejerce presión sobre las paredes y puede provocar grietas o deformaciones. De manera similar, durante el enfriamiento, se puede desarrollar tensión a medida que el material se contrae, especialmente si hay una cantidad excesiva de material residual en el crisol.
Recomendaciones para el llenado del crisol
El grado de llenado de un crisol depende del tipo de material de deposición y puede variar significativamente entre materiales sublimables, materiales fundidos y compuestos químicos.
Materiales de sublimación:Llene el crisol hasta el 90 % de su capacidad para lograr un rendimiento óptimo. En la evaporación a temperatura o potencia constante, la distribución y la velocidad del vapor cambian a medida que se consume el material, pero los materiales que se subliman (por ejemplo, las sales) suelen presentar problemas mínimos.
Materiales fundidos/Materiales no sublimables:El nivel de llenado recomendado para materiales que no subliman es del 75 % de la capacidad del crisol. El llenado excesivo puede provocar grietas debido a la diferencia en la expansión térmica entre el crisol y materiales como el óxido de aluminio cuando se recalientan.
Compuestos químicos:En el caso de los compuestos químicos, los mejores resultados se obtienen normalmente cuando el crisol se llena hasta aproximadamente el 50 %, y el material se reduce hasta aproximadamente el 17 % durante la evaporación. Si la calidad del vapor (por ejemplo, disociación, temperatura o velocidad del vapor) es crítica, es posible que se requieran ajustes adicionales para optimizar el proceso de evaporación.
Para evitar la contaminación cruzada, se recomienda que cada crisol se dedique a calentar un solo tipo de material. Si bien algunos compuestos orgánicos se pueden eliminar por completo con una limpieza adecuada, otros pueden resultar más difíciles de eliminar. El éxito de la limpieza depende del compuesto orgánico específico y de la temperatura de cocción.
Alternativamente, calentar el crisol a temperaturas muy superiores al punto de evaporación normal de los materiales orgánicos puede permitir la autolimpieza quemando los residuos.
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