Verdampferschiffchen auf TiB₂-BN-Basis für die präzise Dünnschichtabscheidung

Verdampferschiffchen aus TiB₂-BN-Verbundwerkstoffen weisen aufgrund der Integration von Hochtemperatur-Bornitrid eine elektrische Leitfähigkeit auf. Diese schiffchenförmigen Tiegel sind Schlüsselkomponenten für die Verdampfung von Metallen oder anderen Materialien aus dem geschmolzenen Zustand durch präzise Widerstandserhitzung bei hohen Temperaturen. Sie werden häufig in Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) eingesetzt. Die hohe Dichte und geringe Porosität des Materials tragen zu einer hervorragenden Wärmeleitfähigkeit, Temperaturwechselbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit bei.

Heizverfahren und Betriebstemperatur

Das Verdampferschiffchen ist an beiden Enden an eine Stromquelle angeschlossen und wird durch Widerstand auf einen Temperaturbereich von 1600-1700°C aufgeheizt. Dadurch können die darin eingebrachten Metallpartikel oder Drähte aus ihrem geschmolzenen Zustand verdampfen, was hochpräzise Anwendungen zur Dünnschichtabscheidung ermöglicht.

Die wichtigsten Leistungsvorteile von Verdampfungsbooten aus leitfähigem Bornitrid:

• Präzise Heizung und Widerstandskontrolle
  Der TiB₂-BN-Verbundwerkstoff bietet einen steuerbaren Widerstand, der eine präzise elektrische Heizung mit gleichmäßiger Wärmeverteilung ermöglicht. Dies gewährleistet stabile und präzise Verdampfungsraten.
• Gute Benetzbarkeit und Korrosionsbeständigkeit
  Das Material weist ein ausgezeichnetes Benetzungsverhalten und eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit auf, wodurch Spritzer beim Erhitzen effektiv minimiert und der Energieverbrauch gesenkt werden.
• Niedrige Porosität
  Eine Struktur mit geringer Porosität trägt zur Verringerung der Gasfreisetzung und des Kontaminationsrisikos unter Hochtemperatur-Vakuumbedingungen bei und verbessert gleichzeitig die Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität.
• Dichte Mikrostruktur
  Die hohe Materialdichte sorgt für eine schnelle und gleichmäßige Wärmeübertragung während der anfänglichen Heiz- und Haltephase und verbessert die Genauigkeit der Temperaturregelung.
• Hohe Wärmeleitfähigkeit
  Gut geeignet für schnelle Aufheiz- und Abkühlzyklen, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das Verdampferschiffchen gewährleisten.
• Hervorragende Temperaturwechselbeständigkeit
  Fähig, häufige thermische Zyklen ohne Rissbildung zu überstehen, wodurch es für anspruchsvolle Hochtemperaturumgebungen geeignet ist.
• Hochtemperaturstabilität
  Die stabile Struktur des Materials bei hohen Temperaturen trägt zu einer längeren Lebensdauer bei.
• Korrosionsbeständigkeit
  Die dichte Struktur und geringe Porosität verhindern das Eindringen von Gasen und Verunreinigungen in das Material bei hohen Temperaturen.
• Gleichmäßiges Benetzungsverhalten
  Minimiert das Spritzen während des Erhitzungsprozesses und verbessert die Prozessstabilität und Produktionseffizienz.
• Benutzerfreundlichkeit
  Das Material und das Design ermöglichen eine einfache Handhabung und Integration in automatisierte Verarbeitungssysteme.

Eigenschaft von Verdunstungsbooten

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