I fysiske dampaflejringsprocesser (PVD) anvendes digler til at holde faste metaller eller forbindelser, som derefter opvarmes til punktet for fordampning eller sublimering. Dette tillader det fordampede materiale at kondensere som en tynd film på underlaget. Mange smeltede materialer kræver en digelforing, og digelens faktiske ladekapacitet afhænger af foringens volumen.
Digler og deres foringer skal vælges omhyggeligt for at undgå uønskede kemiske reaktioner ved høje temperaturer. Inkompatible digelmaterialer kan korrodere eller forurene smelten, hvilket kan kompromittere produktkvaliteten.
Et kritisk problem i højtemperaturprocesser er den termiske ekspansionsmismatch mellem diglen og det smeltede materiale. Under opvarmning udvider smeltede materialer sig typisk hurtigere end diglen, hvilket udøver pres på væggene og potentielt fører til revner eller deformation. På samme måde kan der under afkøling udvikle sig stress, når materialet trækker sig sammen, især hvis der er en for stor mængde restmateriale i diglen.
Anbefalinger til påfyldning af digel
I hvilken grad en digel er fyldt afhænger af typen af aflejringsmateriale, og det kan variere betydeligt mellem sublimerende materialer, smeltede materialer og kemiske forbindelser.
Sublimeringsmaterialer:Fyld digelen til 90 % kapacitet for optimal ydeevne. Ved konstant effekt- eller temperaturfordampning ændres dampfordelingen og hastigheden efterhånden som materialet forbruges, men sublimerende materialer (f.eks. salte) udviser normalt minimale problemer.
Smeltede materialer/ikke-sublimerende materialer:Det anbefalede fyldniveau for ikke-sublimerende materialer er 75 % af diglens kapacitet. Overfyldning kan føre til revner på grund af forskellen i termisk udvidelse mellem diglen og materialer som aluminiumoxid, når de genopvarmes.
Kemiske forbindelser:For kemiske forbindelser opnås de bedste resultater typisk, når diglen er fyldt til omkring 50 %, hvor materialet reduceres til omkring 17 % under fordampningen. Hvis dampkvaliteten (f.eks. dissociation, damptemperatur eller hastighed) er kritisk, kan det være nødvendigt med yderligere justeringer for at optimere fordampningsprocessen.
For at undgå krydskontaminering anbefales det, at hver digel er dedikeret til opvarmning af en enkelt type materiale. Mens nogle organiske forbindelser kan fjernes grundigt med ordentlig rengøring, kan andre være sværere at fjerne. Succesen med rengøring afhænger af den specifikke organiske forbindelse og brændingstemperaturen.
Alternativt kan opvarmning af digelen til temperaturer et godt stykke over det normale fordampningspunkt for de organiske materialer give mulighed for selvrensning ved at brænde rester af.
For tilpassede digelformer, porestørrelser, materialer eller andre specielle krav, kontakt os venligst for skræddersyede løsninger.