Co je PVD kádinka pro vakuové odpařování?

Vakuové odpařování je jednou z nejstarších metod používaných v procesu fyzikální depozice páry (PVD). Mezi běžné techniky patří termální odpařování, odpařování elektronovým paprskem, rozstřikování a obloukové odpařování. Mezi nimi termální odpařování zahrnuje zahřívání materiálu ve vysokém vakuu, dokud se neodpaří. Zařízení pro zahřívání, známé jako odpařovací zařízení, drží materiál v kádince. Jak se kádinka zahřívá, materiál se odpařuje buď z kapalné fáze, nebo přechází přímo ze pevného stavu. Výsledná pára kondenzuje na povrchu substrátu a vytváří tenkou vrstvu. Metody zahřívání obvykle zahrnují odporové ohřevy a vysokofrekvenční indukční ohřev.

Úloha a design evakoračních kádinek

An evaporation crucible is a key component in thermal evaporation processes. It is used to hold the material during heating and vaporization. These crucibles are typically shaped like bowls or cylinders, though custom shapes are also available. Alumina (Al₂O₃) is commonly used due to its high melting point, thermal stability, and resistance to chemical corrosion, making it suitable for many high-temperature deposition applications.

Evaporační kádinky jsou nezbytné v procesech jako depozice tenkých vrstev, vakuové depozice a PVD povlakování, kde slouží jako nádoby pro udržení zdrojového materiálu a zachování čistoty nanesené vrstvy.

Vložky do kádinek: Kdy a proč je používat

Evaporation crucibles can be either with or without Crucible liners, depending on the application. A liner is a small container placed inside the crucible to isolate the source material from the crucible wall. It helps prevent reactions, corrosion, or mechanical damage caused by molten material or thermal stress during cooling.

Běžné materiály pro vložky zahrnují molybden (Mo), tantal (Ta), wolfram (W), nikl (Ni) a pyrolitický boronitrid (PBN).

Například kádinka z Al₂O₃ s vložkou z PBN je vhodná pro odpařování hliníku při teplotách až 1300°C.

Materiály, které lze přímo odpařovat v kádinkách z oxidu hlinitého

Některé materiály nevyžadují vložky při použití s kádinkami z vysoce čistého oxidu hlinitého, protože se při pracovních teplotách netaví a nereagují s kádinkou. Příklady zahrnují:

• Chrom (Cr): Sublimuje při přibližně 1650°C, přičemž přechází přímo do plynné fáze, což minimalizuje riziko poškození kádinky.

• Zlato (Au): Lze odpařovat přímo v čisté kádince z oxidu hlinitého při teplotách 1550–1600°C.

• Bór (B): Pracuje při vysokých teplotách, ale může korodovat kádinku nad 1600°C, takže je potřeba opatrnosti.

• Kobalt (Co): Vakuum se vypařuje při přibližně 1640°C a lze jej použít bez vložky.

• Železo (Fe): Může reagovat s kovovými vložkami, což činí oxid hlinitý lepší volbou. Doporučená teplota: 1550–1600°C.

Germanium (Ge): Citlivé na rychlé změny teploty. Doporučuje se kontrolovaná rychlost ohřevu/chlazení a stabilní teplota kolem 1500°C.

WEIERT CERAMICS – Přední výrobce kádinek z vysoce čistého oxidu hlinitého v Číně.

Jako společnost specializující se na vysoce čisté keramické materiály, WEIERT CERAMICS získala rozsáhlé zkušenosti s výrobou a zpracováním vysoce výkonných keramických kádinek. Díky pokročilým výrobním procesům a neustále optimalizovaným pracovním tokům jsme schopni efektivně kontrolovat výrobní náklady, přičemž zajišťujeme stálou dodávku vysoce čistých kádinek Al₂O₃. Naše produkty nejen splňují vysoké standardy kvality, ale také významně zvyšují ziskovost našich klientů.

Naše kádinky jsou široce používány v procesech vakuového povlakování, PVD procesech, depozici tenkých vrstev a dalších pokročilých aplikacích, s několika specializovanými typy, včetně PVD kádinek, evaporačních kádinek, kádinek pro vakuovou depozici a kádinek pro depozici tenkých vrstev. Všechny naše produkty se vyznačují vynikající odolností vůči vysokým teplotám, což je činí ideálními pro aplikace kádinek při vysokých teplotách.

Navíc nabízíme kádinky na míru přizpůsobené vašim specifickým požadavkům, s přesnými úpravami velikosti, struktury a kompatibility. Výběr WEIERT CERAMICS znamená spolupráci s spolehlivým a cenově efektivním poskytovatelem řešení.